[發明專利]流通池

在審

• 申請號: 202180004207.4
• 申請日: 2021-04-20
• 公開（公告）號: CN114207518A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: A·里奇斯
• 申請（專利權）人: 伊魯米納劍橋有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳文平;黃海波

一種流通池的示例包括基底以及該基底上的固化的圖案化樹脂。該固化的圖案化樹脂具有由間隙區域分開的納米凹入部。每個納米凹入部具有在約10nm至約1000nm范圍內的最大開口尺寸。該固化的圖案化樹脂還包括互穿聚合物網絡。該固化的圖案化樹脂的該互穿聚合物網絡包括環氧基聚合物和(甲基)丙烯酰基聚合物。

相關申請的交叉引用

本申請要求2020年4月24日提交的美國臨時申請序列號63/015,259的權益，該臨時申請的內容全文以引用方式并入本文。

背景技術

納米壓印技術能夠經濟有效地生產納米結構。納米壓印光刻采用通過具有納米結構的壓模使抗蝕劑材料直接機械變形。在壓模處于適當位置的同時將抗蝕劑材料固化以鎖定抗蝕劑材料中納米結構的形狀。

發明內容

在第一方面，流通池包括基底；以及所述基底上的固化的圖案化樹脂，所述固化的圖案化樹脂包括由間隙區域分開的納米凹入部，所述納米凹入部各自具有在約10nm至約1000nm范圍內的最大開口尺寸，并且所述固化的圖案化樹脂包括互穿聚合物網絡，所述互穿聚合物網絡包括環氧基聚合物和(甲基)丙烯酰基聚合物。

第一方面的示例還包括位于所述基底上的光柵層；以及位于所述光柵層上的平面波導層。在一個示例中，所述互穿聚合物網絡的折射率在約1.35至約1.52的范圍內；并且所述平面波導層的折射率在約1.6至約2.5的范圍內。

第一方面的示例還包括定位于所述納米凹入部中的每一個中的水凝膠；以及附接到所述水凝膠的擴增引物。

在第一方面的示例中，所述固化的圖案化樹脂的厚度在約225nm至約600nm的范圍內。

在第一方面的示例中，其中所述環氧基聚合物與所述(甲基)丙烯酰基聚合物的重量比在25:75至約75:25的范圍內。

應當理解，本文所公開的流通池的任何特征可以任何期望的方式和/或構型組合在一起，以實現如本公開所述的益處，包括例如具有帶有一個或多個調諧特性的壓印層。

在第二方面，方法包括在基底上施加樹脂混合物，所述樹脂混合物包含以預定重量比存在于所述樹脂混合物中的兩個獨立可交聯單體，所述兩個獨立可交聯單體中的第一個是陽離子可聚合單體，并且所述兩個獨立可交聯單體中的第二個是自由基可聚合單體；用具有多個納米特征部的工作壓模壓印所述樹脂混合物；以及在所述工作壓模處于適當位置的同時固化所述樹脂混合物，從而形成壓印有流通池納米凹入部的互穿聚合物網絡。

在第二方面的示例中，所述陽離子可聚合單體是多官能環氧單體，并且其中所述自由基可聚合單體是多官能(甲基)丙烯酰單體。在一個示例中，所述多官能環氧單體選自由以下項組成的組：

i)2,4,6,8-四甲基-2,4,6,8-四(丙基縮水甘油醚)環四硅氧烷：

ii)四(環氧環己基乙基)四甲基環四硅氧烷：

iii)二縮水甘油醚封端的聚(二甲基硅氧烷)：

其中4n8；

iv)聚(丙二醇)二縮水甘油醚：

其中5n10；

v)3,4-環氧環己烷羧酸3,4-環氧環己基甲酯：

vi)溴化雙酚A二縮水甘油醚：

vii)縮水甘油基封端的聚(雙酚A-共-表氯醇)：