[發(fā)明專利]具有交錯(cuò)布局中的垂直晶體管的存儲(chǔ)器器件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180004117.5
• 申請(qǐng)日: 2021-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN116391454A
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊濤;趙冬雪;楊遠(yuǎn)程;夏志良;霍宗亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H10B43/35
• 分類號(hào): H10B43/35
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 林錦輝;劉景峰

1.一種存儲(chǔ)器器件，包括：

存儲(chǔ)器單元的陣列，每個(gè)存儲(chǔ)器單元包括垂直晶體管和耦合到所述垂直晶體管的存儲(chǔ)單元，其中，所述存儲(chǔ)器單元的陣列在第一方向上以行布置并且在第二方向上以列布置，在平面圖中，兩個(gè)相鄰行的所述存儲(chǔ)器單元彼此交錯(cuò)，并且兩個(gè)相鄰列的所述存儲(chǔ)器單元彼此交錯(cuò)；

多條字線，每條字線在所述第二方向上延伸；以及

多個(gè)縫隙結(jié)構(gòu)，每個(gè)縫隙結(jié)構(gòu)在所述第二方向上延伸并且在所述第一方向上將所述多條字線中的兩條相鄰字線分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器器件，其中

所述存儲(chǔ)器單元的陣列包括第一組功能存儲(chǔ)器單元，所述第一組功能存儲(chǔ)器單元中的每個(gè)功能存儲(chǔ)器單元耦合到所述字線中的第一字線；并且

所述第一組功能存儲(chǔ)器單元中的第一功能存儲(chǔ)器單元與所述第一組功能存儲(chǔ)器單元的同一列中的第二功能存儲(chǔ)器單元之間的最小距離與所述第一功能存儲(chǔ)器單元與所述第一組功能存儲(chǔ)器單元的相鄰列中的第三功能存儲(chǔ)器單元之間的最小距離相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器器件，其中，所述第二功能存儲(chǔ)器單元與所述第三功能存儲(chǔ)器單元之間的距離與所述最小距離相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的存儲(chǔ)器器件，其中，所述第一功能存儲(chǔ)器單元、所述第二功能存儲(chǔ)器單元和所述第三功能存儲(chǔ)器單元在所述平面圖中分別設(shè)置在等邊三角形的頂點(diǎn)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中的任何一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)器器件，其中

所述存儲(chǔ)器單元的陣列還包括第二組功能存儲(chǔ)器單元，所述第二組功能存儲(chǔ)器單元中的每個(gè)功能存儲(chǔ)器單元耦合到所述字線中的與所述第一字線相鄰的第二字線；并且

所述第一字線和所述第二字線通過在所述平面圖中具有蛇形形狀的所述縫隙結(jié)構(gòu)中的一個(gè)縫隙結(jié)構(gòu)分離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)器器件，其中，在跨越所述縫隙結(jié)構(gòu)的同一列中的分別在所述第一組功能存儲(chǔ)器單元和所述第二組功能存儲(chǔ)器單元中的兩個(gè)相鄰功能存儲(chǔ)器單元之間的距離與所述最小距離相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-4中的任何一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)器器件，其中，所述存儲(chǔ)器單元的陣列還包括：

第二組功能存儲(chǔ)器單元，所述第二組功能存儲(chǔ)器單元中的每個(gè)功能存儲(chǔ)器單元耦合到所述字線中的與所述第一字線相鄰的第二字線；以及

虛設(shè)存儲(chǔ)器單元組，所述虛設(shè)存儲(chǔ)器單元組中的每個(gè)虛設(shè)存儲(chǔ)器單元耦合到在所述平面圖中具有直線形狀并且將所述第一字線和所述第二字線分離的所述縫隙結(jié)構(gòu)中的一個(gè)縫隙結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)器器件，其中，在跨越所述縫隙結(jié)構(gòu)的同一列中的分別在所述第一組功能存儲(chǔ)器單元和所述第二組功能存儲(chǔ)器單元中的兩個(gè)相鄰功能存儲(chǔ)器單元之間的距離與所述最小距離相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的存儲(chǔ)器器件，其中，所述虛設(shè)存儲(chǔ)器單元組中的虛設(shè)存儲(chǔ)器單元與同一列中的所述第一組功能存儲(chǔ)器單元或所述第二組功能存儲(chǔ)器單元中的相鄰功能存儲(chǔ)器單元之間的距離與所述最小距離相同。

10.根據(jù)權(quán)利要求2-9中的任何一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)器器件，其中

所述第一組功能存儲(chǔ)器單元包括在同一列中的n個(gè)功能存儲(chǔ)器單元，其中，n是大于1的正整數(shù)；并且

所述存儲(chǔ)器器件包括分別耦合到所述同一列中的所述n個(gè)功能存儲(chǔ)器單元的n條位線。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中的任何一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)器器件，其中

所述垂直晶體管包括在垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方上延伸的半導(dǎo)體主體，所述半導(dǎo)體主體包括源極、漏極和本征部分；并且

所述存儲(chǔ)單元耦合到所述源極和所述漏極中的一者。