[發明專利]光刻制造雙面觸摸傳感器的方法在審
| 申請號: | 202180002038.0 | 申請日: | 2021-03-31 |
| 公開(公告)號: | CN113728298A | 公開(公告)日: | 2021-11-30 |
| 發明(設計)人: | 羅伯特·勞思;麥克·默里恩;杰夫·霍森 | 申請(專利權)人: | 未來科技基金有限責任公司;江蘇軟訊科技有限公司 |
| 主分類號: | G06F3/041 | 分類號: | G06F3/041;H01B5/14 |
| 代理公司: | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 李靜 |
| 地址: | 美國加利福尼亞*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光刻 制造 雙面 觸摸 傳感器 方法 | ||
1.一種制造具有導電線的觸摸傳感器的方法,其包括:
將UV阻擋層施加到透明襯底的第一表面,所述UV阻擋層對于UV輻射是不透明的;
在所述UV阻擋層上方施加第一光刻膠層;
在所述透明襯底的第二表面上方施加第二光刻膠層;
使用UV輻射光圖案化所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層;
顯影所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層;
根據由所述第一光刻膠層形成的圖案在所述第一表面上方形成第一金屬電路;以及,
根據由所述第二光刻膠層形成的圖案在所述第二表面上方形成第二金屬電路。
2.根據權利要求1所述的方法,其中所述UV阻擋層在315納米到400納米的電磁光譜區域中形成為不透明的。
3.根據權利要求2所述的方法,其中所述UV阻擋層通過混合聚合物粘合劑溶劑組合物中的至少一種來形成:
2,2亞甲基雙[6-(2H-苯并三唑-2-基-4(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚]、2,2,-亞苯基雙-4H-3,1-苯并惡嗪-4-酮,以及
2-(4,6-雙-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪-2-基)5-(辛氧基)-苯酚。
4.根據權利要求3所述的方法,其中所述聚合物粘合劑溶劑組合物是以下中的一種:
丙烯酸、環氧樹脂、氨基甲酸酯或酯功能材料。
5.根據權利要求4所述的方法,其中所述混合包括混合按重量計百分之0.01到百分之4的UV阻擋材料。
6.根據權利要求4所述的方法,其中所述混合包括混合20%到25%的固體聚合物和3%到4%的UV吸收劑材料。
7.根據權利要求1所述的方法,其中所述第一金屬電路和所述第二金屬電路由透明導體材料形成。
8.根據權利要求1所述的方法,其中所述第一金屬電路和所述第二金屬電路由在可見光譜中不透明的金屬導體材料形成。
9.根據權利要求8所述的方法,其中所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層包括具有在光刻膠材料中所混合的催化劑納米粒子的催化劑光刻膠。
10.根據權利要求9所述的方法,其進一步包括在施加所述第二光刻膠層之前,在所述透明襯底的所述第二表面上形成隔離光刻膠層。
11.根據權利要求9所述的方法,其進一步包括在施加所述第一光刻膠層之前,在所述UV阻擋層上形成隔離光刻膠層。
12.根據權利要求1所述的方法,其中光圖案化包括同時將所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層曝光于UV輻射。
13.根據權利要求1所述的方法,其中在干燥后所述UV阻擋層形成為具有至少5微米的厚度。
14.一種制造具有導電線的觸摸傳感器的方法,其包括:
通過將UV阻擋材料混合到透明襯底材料中形成透明襯底,所述UV阻擋層對于UV輻射是不透明的;
在所述透明襯底的第一表面上方施加第一光刻膠層;
在所述透明襯底的第二表面上方施加第二光刻膠層;
使用UV輻射光圖案化所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層;
顯影所述第一光刻膠層和所述第二光刻膠層;
根據由所述第一光刻膠層形成的圖案在所述第一表面上方形成第一金屬電路;以及,
根據由所述第二光刻膠層形成的圖案在所述第二表面上方形成第二金屬電路。
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