[實(shí)用新型]一種帶有感應(yīng)功能的晶圓片盒限位座

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202123453023.2
• 申請(qǐng)日: 2021-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216563037U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭朋;董自銳;吳小祥;趙斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 尹成機(jī)電科技（常州）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 周潔

1.一種帶有感應(yīng)功能的晶圓片盒限位座，其特征在于，包括：

固定基座、傳感器、落座和控制模塊；其中

所述落座卡合在固定基座上，形成限位基座，所述傳感器設(shè)置在限位基座內(nèi)；

所述限位基座適于支撐晶圓片盒并限位，所述傳感器適于在檢測(cè)到限位基座上盛放有晶圓片盒時(shí)發(fā)出有盒信號(hào)；

所述控制模塊與傳感器電性連接，適于在接收到所述有盒信號(hào)時(shí)，控制外接設(shè)備啟動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

所述落座的頂面開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向斜面；

所述晶圓片盒適于通過(guò)導(dǎo)向斜面導(dǎo)向后落于落座的頂面。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

所述落座的側(cè)面開(kāi)設(shè)有若干卡槽；

所述落座適于通過(guò)卡槽與固定基座相卡合。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

所述固定基座包括：底板、兩根支撐架、限位架和若干卡扣；其中

各所述卡扣分別設(shè)置在底板的邊沿，且與對(duì)應(yīng)的卡槽適配；

所述落座與固定基座通過(guò)卡槽與卡扣的扣合相固定。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

兩所述支撐架均豎直設(shè)置在底板上，所述限位架設(shè)置在兩根支撐架之間；

所述支撐架、限位架與卡扣環(huán)繞形成安裝槽；

所述傳感器設(shè)置在安裝槽內(nèi)。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

所述支撐架的上部開(kāi)設(shè)有與導(dǎo)向斜面適配的倒角。

7.如權(quán)利要求6所述的晶圓片盒限位座，其特征在于，

所述底板的中間開(kāi)設(shè)有過(guò)孔；

所述傳感器的連接線通過(guò)過(guò)孔與外界連接。