[實用新型]具有吸塵機構的晶圓ID打標設備有效
| 申請號： | 202123442938.3 | 申請日： | 2021-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN217096170U | 公開（公告）日： | 2022-08-02 |
| 發明（設計）人： | 李志強;李文強;楊建新;朱霆;盛輝;周學慧;張凱 | 申請（專利權）人： | 深圳泰德半導體裝備有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04;B23K26/142;B23K26/08 |
| 代理公司： | 深圳市恒程創新知識產權代理有限公司 44542 | 代理人： | 王韜 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 吸塵 機構 id 設備 | ||
1.一種具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，包括：
機架，所述機架設有機臺，所述機臺設有打標工位；
固定夾具，所述固定夾具設于所述打標工位，用于固定待打標的晶圓；
激光打標頭，所述激光打標頭設于所述機架，所述激光打標頭的出光口的朝向所述打標工位設置；以及
吸塵機構，所述吸塵機構設于所述固定夾具的外周緣，用以吸除打標過程中的煙塵。
2.如權利要求1所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述吸塵機構包括：
吸塵件，所述吸塵件固定于所述固定夾具的外邊緣，所述吸塵件設有多個吸塵孔；
負壓風機，所述負壓風機設于所述機架；以及
吸塵管道，所述吸塵管道的進風端與所述吸塵件連接，并與所述吸塵孔連通，所述負壓風機與所述吸塵管道出風端連接。
3.如權利要求2所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，固定夾具設有進料側，所述吸塵件圍設于所述固定夾具的頂面的外邊緣，并與所述進料側相鄰。
4.如權利要求3所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述吸塵機構還包括正壓風機，所述正壓風機固定于所述機架，并與所述吸塵件相對設置。
5.如權利要求4所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述吸塵件包括相鄰設置的第一吸塵部和第二吸塵部，所述第一吸塵部與所述固定夾具的進料側相鄰設置，并與所述正壓風機相對設置，所述第二吸塵部與所述固定夾具的進料側相對設置。
6.如權利要求5所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述吸塵機構還包括固定架，所述固定架固定于所述機臺表面，并位于所述固定夾具的外側，所述第一吸塵部、所述第二吸塵部以及所述正壓風機均固定于所述固定架的表面。
7.如權利要求4所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述正壓風機內為負離子風機。
8.如權利要求1至7中任意一項所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述具有吸塵機構的晶圓ID打標設備還包括設于所述機臺的多個料盒和移料機構，所述料盒用于放置晶圓，所述移料機構可在多個所述料盒和所述打標工位之間移動。
9.如權利要求8所述的具有吸塵機構的晶圓ID打標設備，其特征在于，所述移料機構包括：
底座，所述底座設于所述機架，并位于安裝位；和
兩移料機械手，兩所述移料機械手均固定于所述底座，并可伸出所述機臺，兩所述移料機械手可分別相對所述底座轉動或移動設置。
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