[實(shí)用新型]一種光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202123431962.7
• 申請(qǐng)日: 2021-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN216596793U
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周敏;丁珉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫芯享信息科技有限公司
• 主分類號(hào): G09F9/37
• 分類號(hào): G09F9/37;G09G3/34
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 孫建

1.一種光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，包括光罩盒和讀寫臺(tái)，光罩盒放置于讀寫臺(tái)之上，其特征在于，所述光罩盒信息顯示裝置還包括無源墨水屏、墨水屏支架、智能標(biāo)簽管理模塊，所述智能標(biāo)簽管理模塊運(yùn)行于讀寫臺(tái)上；

所述光罩盒設(shè)置有槽位，所述槽位嵌入有RFID玻璃管標(biāo)簽；

所述墨水屏支架兩端設(shè)置有掛耳，中間設(shè)置蓋板，所述蓋板通過螺絲固定到所述墨水屏支架上，所述掛耳與墨水屏支架一體或通過螺絲固定，所述墨水屏支架通過掛耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；

所述無源墨水屏通過螺絲固定到蓋板上；

所述智能標(biāo)簽管理模塊具有RFID讀取單元，和MES系統(tǒng)以及所述無源墨水屏通信連接，所述MES系統(tǒng)將晶圓的批次信息發(fā)送到所述智能標(biāo)簽管理模塊后，所述智能標(biāo)簽管理模塊將晶圓的批次信息寫入所述無源墨水屏，所述無源墨水屏顯示晶圓的批次信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，其特征在于，所述無源墨水屏外包圍有一層中級(jí)防靜電POM加工件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，其特征在于，所述MES系統(tǒng)將晶圓的批次信息發(fā)送到所述智能標(biāo)簽管理模塊包括：

所述智能標(biāo)簽管理模塊的RFID讀取單元讀取光罩盒的RFID標(biāo)簽信息，將光罩盒的RFID標(biāo)簽信息發(fā)送到MES系統(tǒng)，所述MES系統(tǒng)查詢所述光罩盒的RFID標(biāo)簽信息對(duì)應(yīng)的晶圓的批次信息，并返回給所述智能標(biāo)簽管理模塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，其特征在于，所述無源墨水屏將晶圓的批次信息的灰度圖像轉(zhuǎn)化為二值圖像并顯示。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，其特征在于，所述智能標(biāo)簽管理模塊與所述無源墨水屏通過NFC方式通信，所述智能標(biāo)簽管理模塊與所述MES系統(tǒng)至少通過以太網(wǎng)/4G/5G/WIFI方式之一通信。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻區(qū)的光罩盒信息顯示裝置，其特征在于，所述智能標(biāo)簽管理模塊與上位機(jī)至少通過以太網(wǎng)/4G/5G/WIFI方式之一通信，所述智能標(biāo)簽管理模塊還將晶圓的批次信息和光罩盒的RFID標(biāo)簽信息發(fā)送到上位機(jī)，上位機(jī)將晶圓的批次信息和光罩盒的RFID標(biāo)簽信息保存下來。