[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202123286148.0
• 申請(qǐng)日: 2021-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN216988318U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱劍峰;黃季前;袁林;杜團(tuán)祥;沙東升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通同方半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B05C1/02
• 分類號(hào): B05C1/02;B05C13/02
• 代理公司: 南京華恒專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32335
• 代理人: 宋方園

1.一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：包括勻膠機(jī)構(gòu)(100)、夾持機(jī)構(gòu)(200)和半導(dǎo)體晶圓體(3)，所述夾持機(jī)構(gòu)(200)設(shè)置在勻膠機(jī)構(gòu)(100)上，所述半導(dǎo)體晶圓體(3)設(shè)置在夾持機(jī)構(gòu)(200)上；

所述夾持機(jī)構(gòu)(200)包括固定箱(201)，所述固定箱(201)的內(nèi)側(cè)固定連接有電動(dòng)機(jī)(202)，所述電動(dòng)機(jī)(202)的輸出軸固定連接有驅(qū)動(dòng)軸(203)，所述驅(qū)動(dòng)軸(203)的外側(cè)固定連接有第一齒輪(204)，所述第一齒輪(204)的頂部嚙合有第二齒輪(205)，所述第二齒輪(205)的內(nèi)側(cè)固定連接有螺紋桿(206)，所述螺紋桿(206)的外側(cè)螺紋連接有螺紋塊(207)，所述螺紋塊(207)的頂部固定連接有限位塊(208)，所述限位塊(208)的頂部固定連接有活動(dòng)夾塊(209)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述勻膠機(jī)構(gòu)(100)包括勻膠箱(101)，所述勻膠箱(101)的右側(cè)壁固定連接有電動(dòng)推桿(102)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述電動(dòng)推桿(102)的左端固定連接有活動(dòng)推塊(103)，所述活動(dòng)推塊(103)的底部固定連接有電動(dòng)伸縮桿(104)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述電動(dòng)伸縮桿(104)的底端固定連接有涂膠機(jī)(105)，所述活動(dòng)推塊(103)的頂部固定連接有滑動(dòng)塊(106)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述螺紋桿(206)的外側(cè)固定連接有滾動(dòng)軸承(210)，所述驅(qū)動(dòng)軸(203)的頂端固定連接有滾動(dòng)塊(211)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述固定箱(201)的頂部固定連接有工作臺(tái)(212)，所述滾動(dòng)軸承(210)與固定箱(201)固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體晶圓涂膠用勻膠機(jī)，其特征在于：所述勻膠箱(101)與固定箱(201)固定連接，所述工作臺(tái)(212)與半導(dǎo)體晶圓體(3)活動(dòng)連接。