[實用新型]一種水性剝離液回收系統

有效

• 申請號: 202123279374.6
• 申請日: 2021-12-24
• 公開（公告）號: CN216440148U
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 宋凱;鄭圣弘
• 申請（專利權）人: 深圳融科科技有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D3/14;B01D15/10;B01F35/71;B01F35/21;B01F23/70
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 50219
• 代理人: 劉澤正

本實用新型涉及電子化學品技術領域，特別涉及一種水性剝離液回收系統，包括多組處理單元，多組所述處理單元的進液端連接同一廢液儲罐，多組所述處理單元的出液端連接同一調配罐；所述處理單元包括依次管道連接的雙級過濾器、PR顆粒過濾裝置、樹脂吸附塔及精餾塔，所述雙級過濾器與所述廢液儲罐連通，所述精餾塔與所述調配罐連通。與現有技術相比，本實用新型提供的一種水性剝離液回收系統，實現剝離液中絕大部分有效成分的在線回收，實現資源再利用，使供應系統、回收系統形成閉環，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及電子化學品技術領域，特別涉及一種水性剝離液回收系統。

背景技術

目前，在半導體、液晶顯示面板等制造過程中，往往會有光刻技術的使用，在掩膜、顯影、刻蝕等工序進行完畢后，對光刻膠的去除就需要用到專用的剝離液；剝離液主要由有機溶劑、有機胺、20％左右的水及其他占比較少的緩蝕劑等微組分組成；有機溶劑、有機胺價格昂貴，是目前面板行業最大的耗材之一，且環保性較差，容易造成水質等污染，目前常用的處理方式為焚燒，造成了資源浪費，因此，急需一種能有效的分離并回收其有效成分，實現資源再利用，變廢為寶的水性剝離液回收系統。

實用新型內容

為解決以上技術問題，本實用新型提供一種水性剝離液回收系統。

本實用新型采用的技術方案如下：一種水性剝離液回收系統，關鍵在于：包括多組處理單元，多組所述處理單元的進液端連接同一廢液儲罐，多組所述處理單元的出液端連接同一調配罐；

所述處理單元包括依次管道連接的雙級過濾器、PR顆粒過濾裝置、樹脂吸附塔及精餾塔，所述雙級過濾器與所述廢液儲罐連通，所述精餾塔與所述調配罐連通。該方案的效果是使水性剝離液依次通過雙級過濾器、PR顆粒過濾裝置、樹脂吸附塔和精餾塔，可分別將剝離液中的顆粒物、PR有機物及金屬離子去除并精制得到電子級有機溶劑和有機胺的混合物，回收其有效成分，實現資源再利用。

優選的，所述雙級過濾器包含孔徑為50μm的濾芯和孔徑為5μm的濾芯。該方案的效果是對廢玻璃液中的大顆粒物進行過濾去除，降低后續處理的負荷。

優選的，所述PR顆粒過濾裝置為分子篩過濾器。該方案的效果是利用分子篩對剝離液廢液中的PR等大分子顆粒物進行過濾去除，同時去除其他顆粒物。

優選的，所述PR顆粒過濾裝置為硅藻土過濾器。該方案的效果是利用硅藻土對剝離液廢液中的PR等大分子顆粒物進行過濾去除，同時去除其他顆粒物。

優選的，所述樹脂吸附塔中填充有陽離子型大孔吸附樹脂。該方案的效果是吸附殘余的PR并選擇性去除金屬離子。

優選的，所述處理單元至少為兩組。

有益效果：與現有技術相比，本實用新型提供的一種水性剝離液回收系統，實現剝離液中絕大部分有效成分的在線回收，實現資源再利用，使供應系統、回收系統形成閉環，降低生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型另一實施例的結構示意圖。

具體實施方式

為使本領域技術人員更好的理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作詳細說明。

實施例1

如圖1所示，一種水性剝離液回收系統，包括兩組處理單元2，兩組所述處理單元的進液端連接同一廢液儲罐1，兩組所述處理單元的出液端連接同一調配罐3；所述處理單元2包括依次管道連接的雙級過濾器21、PR顆粒過濾裝置22、樹脂吸附塔23及精餾塔24，所述雙級過濾器21與所述廢液儲罐1連通，所述精餾塔24與所述調配罐3連通；所述雙級過濾器21包含孔徑為50μm的濾芯和孔徑為5μm的濾芯；

所述PR顆粒過濾裝置22為分子篩過濾器；