[實用新型]一種芯片翹曲測試裝置

有效

• 申請號: 202123145014.7
• 申請日: 2021-12-14
• 公開（公告）號: CN216410091U
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 詹鑫源
• 申請（專利權）人: 湖北方晶電子科技有限責任公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 無錫智麥知識產權代理事務所(普通合伙) 32492
• 代理人: 宋春榮

本實用新型公開一種芯片翹曲測試裝置，涉及芯片測試領域。包括支撐臺、翹曲測量組件、工位板和連接組件，支撐臺頂端的中部開設有嵌放槽，嵌放槽內設置有旋轉電機；翹曲測量組件設置在支撐臺的頂端；工位板設置在支撐臺頂端的中部，工位板的底端固定連接有連接套管；連接組件設置在旋轉電機的輸出端，連接組件包括連接桿，連接桿頂部的兩側均設置有鎖定機構，鎖定機構包括移動滑桿。該實用新型，通過連接組件的設計，使得工位板與旋轉電機的連接能夠進行自由和輕松的拆卸，這樣就能歐方便直接更換工位板，此時就節省了大量在工位板處記性芯片的拆裝時間，使得整個檢測裝置能夠實現快速檢測。

技術領域

本實用新型涉及芯片測試技術領域，具體為一種芯片翹曲測試裝置。

背景技術

在芯片生產的檢測過程中，有一個重要的測量步驟就是對于芯片翹曲度的測試，現有的設備對于芯片翹曲的測試都是采用激光掃描儀進行掃描測試，這樣的測試方式快捷且準確。

現有的一種轉盤式的輸送掃描設備是采用一個旋轉的工位板，將待檢測的芯片夾定在工位板的頂端，然后再依次旋轉至激光掃描儀的下方進行掃描，這樣的能夠進行連續多個的測試，但是由于現有設備工位板都是固定在旋轉電機的輸出端，且芯片需要夾定在工位板的頂端，因此在進行芯片更換檢測時，還需要停機拆卸和補裝芯片，這個過程就比耽誤時間，不能夠是設備形成快速的多個芯片的檢測。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型公開了一種芯片翹曲測試裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種芯片翹曲測試裝置，包括：

支撐臺，所述支撐臺頂端的中部開設有嵌放槽，所述嵌放槽內設置有旋轉電機；

翹曲測量組件，所述翹曲測量組件設置在支撐臺的頂端，且位于靠近背面的邊側；

工位板，所述工位板設置在支撐臺頂端的中部，所述工位板的底端固定連接有連接套管；

連接組件，所述連接組件設置在旋轉電機的輸出端，所述連接組件包括連接桿，所述連接桿頂部的兩側均設置有鎖定機構，所述鎖定機構包括移動滑桿，所述移動滑桿的其中一端固定連接有鎖定凸塊。

優選的，所述翹曲測量組件包括支撐柱，所述支撐柱頂部的正面固定連接有支撐板，所述支撐板的其中一端設置有激光掃描儀。

優選的，所述連接桿頂部的兩側均開設有調節滑槽，兩個所述移動滑桿分別和兩個調節滑槽滑動穿插連接，兩個所述調節滑槽頂端和底端的內壁均開設有導向滑槽。

優選的，兩個所述移動滑桿的頂端和底端均固定連接有導向滑桿，四個所述導向滑桿分別和四個導向滑槽滑動穿插連接。

優選的，四個所述導向滑槽內均設置有控制彈簧，且四個所述控制彈簧的其中一端分別和四個導向滑槽其中一側的內壁固定連接。

優選的，所述工位板的底端開設有連接槽，所述連接套管的頂端和連接槽頂端的內壁固定連接，所述工位板的頂端設置有多個固定槽。

優選的，所述連接套管兩側內壁的底部均開設有引導槽，所述連接套管兩側內壁的中部均開設有鎖定孔，兩個所述鎖定孔的底部分別和兩個引導槽的頂部相互貫通，兩個所述鎖定凸塊分別與兩個引導槽和兩個鎖定孔滑動穿插連接。

本實用新型公開了一種芯片翹曲測試裝置，其具備的有益效果如下：

1、該實用新型，通過連接組件的設計，使得工位板與旋轉電機的連接能夠進行自由和輕松的拆卸，這樣就能歐方便直接更換工位板，此時就節省了大量在工位板處記性芯片的拆裝時間，使得整個檢測裝置能夠實現快速檢測。