[實用新型]電容直聯式壓力檢測傳感器

有效

• 申請號: 202123138580.5
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN216717670U
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 楊勁松;劉慶;王小文;朱健;何炳偉;金亮
• 申請（專利權）人: 重慶市偉岸測器制造股份有限公司
• 主分類號: G01L7/08
• 分類號: G01L7/08;G01L13/02;G01L13/06
• 代理公司: 重慶為信知識產權代理事務所(普通合伙) 50216
• 代理人: 余錦曦

本實用新型公開了一種電容直聯式壓力檢測傳感器，包括引壓模塊和差壓傳感器模塊，差壓傳感器模塊內設有由膜片分隔形成的兩個密封感應腔，每個感應腔分別連接有引壓管，引壓模塊上對應兩個引壓管分別開設有引壓通道并與其連通，引壓通道的引壓入口均開口于引壓模塊內，引壓模塊內對應兩個引壓入口分別開設有取壓腔，兩個引壓入口分別密封覆蓋有隔離膜片；引壓模塊上開設有一個取壓通道和一個大氣通道，兩者與兩個取壓腔一一對應并連通，取壓通道的外端從引壓模塊上的取壓接頭穿出，差壓傳感器模塊對應其感應腔設置有靜壓補償結構。有益效果：引壓模塊緊湊，并方便與外部待測壓力源連接，此外靜壓補償機構有助于提高傳感器檢測精度。

技術領域

本實用新型涉及一種壓力測量裝置，具體涉及一種電容直聯式壓力檢測傳感器。

背景技術

壓力傳感器廣泛用于流體壓力測量，其依靠壓力敏感元件感應外部壓力，壓力敏感元件再將壓力信號轉化為電信號，電信號傳給信號處理單元以得到壓力值。現有的壓力傳感器根據壓力敏感元件的不同可劃分為多種類型，常見地有電阻式壓力傳感器、壓電石英晶體型壓力傳感器、電容式壓力傳感器等。其中，電容式壓力傳感器的核心檢測元件是膜片式差壓傳感器。膜片式差壓傳感器包括兩個圓盤狀的膜座，兩個膜座之間設有測量膜片，兩個膜座對焊連接，將測量膜片夾緊。測量膜片與兩個膜座之間分別設有用于容納硅油的感應腔，兩個感應腔分別連接有引壓管，引壓管將外部待測壓力引入測量膜片兩側。由于兩側壓強不同，測量膜片向壓強較小側變形，變形量的大小反映為電容信號的變化。由于涉及與外部壓力源的連接以及靜壓傳導，現有的電容式壓力傳感器結構相對復雜，并且測量精度有提升空間。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種電容直聯式壓力檢測傳感器。

其技術方案如下：

一種電容直聯式壓力檢測傳感器，包括引壓模塊和差壓傳感器模塊，所述差壓傳感器模塊內設有由膜片分隔形成的兩個密封的感應腔，每個所述感應腔分別連接有引壓管，所述引壓模塊上對應兩個所述引壓管分別開設有引壓通道，所述引壓通道的兩端分別為引壓入口和引壓出口，其中兩個所述引壓出口分別開設于所述引壓模塊表面，并與相應的所述引壓管連通，其關鍵在于，

兩個所述引壓入口均開口于所述引壓模塊內，所述引壓模塊內對應兩個所述引壓入口分別開設有取壓腔，兩個所述引壓入口分別密封覆蓋有隔離膜片，以將所述取壓腔與所述引壓入口分隔；

所述引壓模塊上開設有一個取壓通道和一個大氣通道，所述大氣通道與其中一個所述取壓腔連通，所述取壓通道的內端與另一所述取壓腔連通；

所述引壓模塊上設有取壓接頭，所述取壓通道的外端穿出該取壓接頭；

所述差壓傳感器模塊對應其感應腔設置有靜壓補償結構。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：引壓模塊更加緊湊，并方便與外部待測壓力源連接，此外設置靜壓補償機構有助于提高壓力檢測傳感器的檢測精度。

附圖說明

圖1為本實用新型的第一個視角的結構示意圖；

圖2為本實用新型的第二個視角的結構示意圖；

圖3為圖2中A-A剖視圖；

圖4為差壓傳感器模塊的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合實施例和附圖對本實用新型作進一步說明。