[實用新型]一種便于晶圓取放的檢測裝置

有效

• 申請號: 202123075902.6
• 申請日: 2021-12-08
• 公開（公告）號: CN216525416U
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 季建松
• 申請（專利權）人: 江陰佳泰電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及半導體技術領域，公開了一種便于晶圓取放的檢測裝置，包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋轉安裝有轉動盤，轉動盤上開設有供晶圓恰好放置的圓形深槽，圓形深槽端口內水平設置有置物板，且轉動盤上的圓形深槽底部水平安裝有絲杠，絲杠上對稱構造有兩段相反的螺紋，兩段螺紋上對稱套有兩個移動塊，移動塊的上端面與置物板的下端面之間鉸接連接有傾斜的支撐桿。該便于晶圓取放的檢測裝置，結構合理，能夠對晶圓限位，避免其水平移動，有利于提高檢測精度，且易于對晶圓進行取放，操作簡單，使用方便，有利于提高檢測效率。

技術領域

本申請涉及半導體技術領域，尤其是涉及一種便于晶圓取放的檢測裝置。

背景技術

在半導體工藝中，晶圓表面的清潔度是影響半導體器件可靠性的重要因素之一，而具有不破壞晶圓表面的清潔度、可實時檢測等優點的光學檢測方法即為晶圓的常用檢測方法之一。在進行光學檢測時，激光器發出的檢測光會掠入射到待測晶圓上，在晶圓表面會形成橢圓形光斑，通過晶圓卡盤的移動和旋轉，使得橢圓形光斑掃描整片晶圓，檢測光在晶圓表面發生反射，如果檢測光投射到顆粒上，會被顆粒散射，被散射的光束具有和反射光束不相同的空間立體角，而散射光最終被光電探測器探測，以獲取晶圓表面的顆粒信息。

目前，現有的晶圓檢測裝置不便于對晶圓進行穩定放置，導致在進行移動、旋轉轉動盤以使橢圓形探測光斑對晶圓進行全面掃描時，晶圓位置可能出現水平偏移，從而影響光學檢測結果。

實用新型內容

本申請的目的在于提供一種便于晶圓取放的檢測裝置，以解決上述背景技術中提出現有的晶圓檢測裝置不便于對晶圓進行取放，導致晶圓放置位置可能出現水平平移而影響檢測結果的問題。

為實現上述目的，本申請提供如下技術方案：包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋轉安裝有轉動盤，轉動盤上開設有供晶圓放置的圓形深槽，圓形深槽端口內水平設置有置物板，且轉動盤上的圓形深槽底部水平安裝有絲杠，絲杠上對稱構造有兩段相反的螺紋，兩段螺紋上對稱套有兩個移動塊，移動塊的上端面與置物板的下端面之間鉸接有支撐桿。

通過采用上述技術方案，支撐桿能夠對置物板進行支撐，并可通過自身的傾斜角度來帶動置物板進行升降。

優選的，絲杠的一端旋轉安裝于圓形深槽內的底部一側內壁上，絲杠的另一端水平穿出圓形深槽內的底部另一側并固定有擰冒。

通過采用上述技術方案，使得可通過擰冒來轉動絲杠。

優選的，底座內開設有安裝腔，安裝腔內安裝有電機，電機的機軸穿出底座的上端面并與轉動盤的下端面中部固定。

通過采用上述技術方案，從而可通過電機來驅使轉動盤轉動。

優選的，基座上開設有調節槽，調節槽上滑動安裝有調節座，調節座的上端面固定有固定柱，固定柱的頂端安裝有朝向圓形深槽照射的激光器。

優選的，調節座的底部構造有與調節槽滑動配合的嵌合塊，且調節座的上端面設置有定位插銷，定位插銷貫穿調節座并與基座上端面對應開設的定位孔插接配合。

通過采用上述技術方案，從而來固定調節座的位置。

優選的，支架固定于基座的上端面遠離調節槽的一端，支架的頂部伸至底座的上方并固定有光電探測器，且支架的背側固定有數據箱，數據箱內安裝有與光電探測器電性連接的數據處理模塊。

優選的，光電探測器與底座之間設置有集光罩，集光罩的頂部兩側對稱固定有兩個調節板，且支架的頂部兩側對稱固定有兩個供調節板頂端插入的連接板。

優選的，連接板上設置有緊固插銷，緊固插銷貫穿連接板以及插入連接板內的調節板，且調節板上等距開設有多個供緊固插銷插入的固定孔。

通過采用上述技術方案，從而使得連接板與調節板可根據實際需要來進行固定。