[實用新型]一種集成電路加工用拋光裝置有效
| 申請號： | 202123014310.3 | 申請日： | 2021-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN216327369U | 公開（公告）日： | 2022-04-19 |
| 發明（設計）人： | 陶冶 | 申請（專利權）人： | 羅志聰 |
| 主分類號： | B24B23/02 | 分類號： | B24B23/02;B24B55/10;F21V33/00 |
| 代理公司： | 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 饒富春 |
| 地址： | 350007 福建省福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 集成電路 工用 拋光 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種集成電路加工用拋光裝置，包括筒體(1)、進風盒(2)和燈罩(3)，其特征在于：所述筒體(1)內部通過螺栓固定有內管(7)，所述內管(7)內部通過安裝架安裝有蓄電盒(9)，所述蓄電盒(9)底部通過安裝架安裝有驅動電機(10)，所述筒體(1)頂部熱熔連接有進風盒(2)。
2.根據權利要求1所述的一種集成電路加工用拋光裝置，其特征在于：所述筒體(1)一端通過螺紋槽連接有錐形套(5)，所述驅動電機(10)一側輸出軸通過連接套及軸桿連接有拋光磨頭(6)，所述拋光磨頭(6)位于錐形套(5)底部。
3.根據權利要求1所述的一種集成電路加工用拋光裝置，其特征在于：所述筒體(1)一側通過螺紋槽連接有定型軟管(4)，所述定型軟管(4)一端通過螺栓固定有燈罩(3)，所述燈罩(3)內部通過安裝座安裝有LED燈珠(15)。
4.根據權利要求1所述的一種集成電路加工用拋光裝置，其特征在于：所述進風盒(2)內部通過安裝架安裝有抽風扇(8)，所述進風盒(2)內頂部通過卡槽固定有防塵網(11)。
5.根據權利要求1所述的一種集成電路加工用拋光裝置，其特征在于：所述筒體(1)外側套設有防滑套(13)，所述筒體(1)底部貫穿開設有通孔(14)。
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