[實(shí)用新型]一種自對(duì)準(zhǔn)溝槽柵結(jié)構(gòu)IGBT

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202122903860.4
• 申請(qǐng)日: 2021-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216450649U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡強(qiáng);唐茂森;馬克強(qiáng);王思亮;蔣興莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都森未科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/739
• 分類號(hào): H01L29/739;H01L29/417
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 蘇丹

1.一種自對(duì)準(zhǔn)溝槽柵結(jié)構(gòu)IGBT，包括襯底（100），其特征在于：所述襯底（100）正面上方設(shè)置有第二導(dǎo)電類型層a（101），所述襯底（100）上部設(shè)置有多根溝槽，且所述溝槽同時(shí)貫穿對(duì)應(yīng)位置處的第二導(dǎo)電類型層a（101），所述溝槽內(nèi)設(shè)置有第一絕緣介質(zhì)層（302），所述第一絕緣介質(zhì)層（302）內(nèi)設(shè)置有第一導(dǎo)電層（201），且所述第一導(dǎo)電層（201）與第一絕緣介質(zhì)層（302）頂部齊平，所述第一絕緣介質(zhì)層（302）頂部設(shè)置有寬度大于第一絕緣介質(zhì)層（302）的第二絕緣介質(zhì)層（303），第二絕緣介質(zhì)層（303）的中部設(shè)置有第三絕緣介質(zhì)層（401），且第三絕緣介質(zhì)層（401）的寬度與第一導(dǎo)電層（201）的寬度相同，所述第二導(dǎo)電類型層a（101）上部各溝槽之間設(shè)置有第二導(dǎo)電類型層b（103），所述第二絕緣介質(zhì)層（303）與第二導(dǎo)電類型層b（103）之間設(shè)置有第一導(dǎo)電類型層（102）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自對(duì)準(zhǔn)溝槽柵結(jié)構(gòu)IGBT，其特征在于：在襯底（100）的側(cè)面設(shè)置有閉合的溝槽結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自對(duì)準(zhǔn)溝槽柵結(jié)構(gòu)IGBT，其特征在于：所述第三絕緣介質(zhì)層（401）采用自對(duì)準(zhǔn)工藝形成于溝槽柵頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自對(duì)準(zhǔn)溝槽柵結(jié)構(gòu)IGBT，其特征在于：第三絕緣介質(zhì)層（401）和第二絕緣介質(zhì)層（303）是兩種不同的絕緣層材料，將溝槽內(nèi)的第一導(dǎo)電層（201）和溝槽外的第二導(dǎo)電層隔離開(kāi)。