[實用新型]軌道清潔裝置

有效

• 申請號: 202122806919.8
• 申請日: 2021-11-16
• 公開（公告）號: CN216225673U
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 張晨光;李佰干
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00;A47L13/10
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 馮啟正

本實用新型提供了一種軌道清潔裝置，用于清潔空中走行式無人搬送車的軌道，包括：清潔滾筒，連接在一U型連桿的一端，用于清潔所述軌道表面的微塵；操作桿，連接所述U型連桿異于所述清潔滾筒的一端，且所述操作桿的延伸方向與所述清潔滾筒的軸向垂直，用于操縱所述清潔滾筒進行清潔作業；滾輪，通過一傳動桿固定在所述操作桿與所述U型連桿的連接處，用于所述清潔滾筒進行清潔作業時，抵靠所述軌道。本實用新型可以在軌道不斷電的情況下進行軌道清潔，提高生產效率。進一步地，本實用新型所述的軌道清潔裝置可伸縮，長度范圍為3m～5m，操作人員可以直接在地面進行清潔作業，避免高空清潔作業的潛在風險。

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造技術領域，尤其涉及一種軌道清潔裝置。

背景技術

在半導體制造技術高速發達的今天，12寸(300mm)晶圓半導體工廠已經成為全球半導體行業的主流。相比于8寸(200mm)晶圓，12寸晶圓擁有更大的尺寸及重量，人工搬送晶盒(FOUP)或其它晶圓載體的效率已經遠遠無法滿足工廠的生產需求，因此，必須通過自動化物料搬送系統(Automatic Material Handling System，AMHS)搬送晶圓。

AMHS的主要設備一般包括空中走行式無人搬送車(Overhead Hoist Transfer，OHT)、潔凈室用自動倉儲(Stocker，STK)、自動導向小車(Automated Guided Vehicles，AGV)等。其中，空中走行式無人搬送車為主要的搬運設備，且由于空中走行式無人搬送車在軌道上方長時間運行會產生微塵(Particle)，所以需要定期對其進行清潔。然而，空中走行式無人搬送車的軌道上方是帶電的，且軌道安裝于4.2m的天花板上，因此，在進行軌道清潔作業時，需要對相應的軌道進行斷電處理后，才能進行高空清潔作業。

然而，對于半導體工廠，尤其是對于7*24小時都正常生產的半導體工廠而言，自動化物料搬送系統也必須正常運行，確保工廠生產的產品正常搬送。空中走行式無人搬送車的清潔作業不僅會影響全廠生產的整體搬送效率，而且會增加人力涉及高空作業帶來的作業風險。

鑒于此，需要一種無需斷電的軌道清潔裝置，以在軌道不斷電的情況下進行軌道清潔，同時避免因高空作業帶來的潛在風險。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種軌道清潔裝置，在軌道不斷電的情況下進行軌道清潔，同時避免因高空作業帶來的潛在風險。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種軌道清潔裝置，用于清潔空中走行式無人搬送車的軌道，包括：

清潔滾筒，連接在一U型連桿的一端，用于清潔所述軌道表面的微塵；

操作桿，連接所述U型連桿異于所述清潔滾筒的一端，且所述操作桿的延伸方向與所述清潔滾筒的軸向垂直，用于操縱所述清潔滾筒進行清潔作業；

滾輪，通過一傳動桿固定在所述操作桿與所述U型連桿的連接處，用于所述清潔滾筒進行清潔作業時，抵靠所述軌道。

可選的，所述操作桿上還設置有可拆卸的防塵袋，且所述防塵袋靠近所述滾輪設置。

可選的，所述防塵袋的口徑大于所述清潔滾筒的長度。

可選的，所述軌道的截面呈矩形，且所述軌道的下表面的中部設置有開口，所述清潔滾筒通過所述開口進入所述軌道內以進行清潔作業，所述防塵袋的口徑大于所述開口的寬度。

可選的，所述操作桿具有可伸縮性。

可選的，所述操作桿包括支桿及套設在所述支桿上的空心套桿，所述支桿與所述U型連桿相連接，所述空心套桿與一手柄相連接。

可選的，所述傳動桿與所述手柄之間設置有聯動機制，通過所述手柄控制所述傳動桿與所述操作桿之間的夾角，以調整所述滾輪的位置。

可選的，所述清潔滾筒的表面具有黏附性。