[實(shí)用新型]一種防脫模裝置及真空貼膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202122629042.X
• 申請(qǐng)日: 2021-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216968666U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵輝;謝宗其;王力;陳耀祖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B29C63/02
• 分類號(hào): B29C63/02;B29C63/00
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

本實(shí)用新型提供一種防脫模裝置及真空貼膜機(jī)，所述防脫模裝置用于真空貼膜機(jī)中以?shī)A取薄膜，包括：多個(gè)氣缸、多個(gè)感應(yīng)單元、多個(gè)檢測(cè)單元、第一支撐結(jié)構(gòu)、第二支撐結(jié)構(gòu)、第一夾取單元和第二夾取單元，其中，所述第一支撐結(jié)構(gòu)與所述第二支撐結(jié)構(gòu)相對(duì)設(shè)置；所述第一夾取單元連接所述第一支撐結(jié)構(gòu)以及所述第二夾取單元連接所述第二支撐結(jié)構(gòu)；所述氣缸和所述感應(yīng)單元設(shè)置在所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述第二支撐結(jié)構(gòu)上，所述第一夾取單元和所述第二夾取單元上設(shè)有所述檢測(cè)單元。本實(shí)用新型提供的防脫模裝置及真空貼膜機(jī)減少了人力與物力的耗費(fèi)，以及減少了機(jī)臺(tái)在運(yùn)行時(shí)薄膜的脫模頻率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種防脫模裝置及真空貼膜機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有機(jī)臺(tái)薄膜擴(kuò)展單元由薄膜、切刀和框架平臺(tái)組成。其中框架平臺(tái)利用真空吸附晶圓框架，然后將膠帶貼合到晶圓框架上，最后由切刀將貼合著薄膜的晶圓框架分離出來(lái)。在薄膜供應(yīng)過(guò)程中，如果出現(xiàn)薄膜走向偏離，夾取時(shí)薄膜出現(xiàn)折疊黏合，擴(kuò)展單元夾子的夾取壓力不一致，擴(kuò)展單元夾子的夾取壓力降低等因素，都有可能會(huì)造成夾取失敗，導(dǎo)致脫模。且現(xiàn)有機(jī)臺(tái)的薄膜拓展單元對(duì)于薄膜的走向，兩邊夾子的夾取壓力等無(wú)法進(jìn)行偵測(cè)，機(jī)臺(tái)報(bào)警也只是發(fā)生在脫膜之后，而對(duì)此的處理往往也只是更換薄膜以及對(duì)氣缸壓力進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)，只能夠起到暫時(shí)性的作用，無(wú)法從根本上解決問(wèn)題。

因此，如何提供一種防脫模裝置及真空貼膜機(jī)，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，日益成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題之一。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種防脫模裝置及真空貼膜機(jī)，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的機(jī)臺(tái)的薄膜拓展單元對(duì)于薄膜的走向，兩邊夾子的夾取壓力等無(wú)法進(jìn)行偵測(cè)，機(jī)臺(tái)報(bào)警也只是發(fā)生在脫膜之后，以及只能手動(dòng)調(diào)節(jié)氣缸的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種防脫模裝置，所述防脫模裝置用于真空貼膜機(jī)中以?shī)A取薄膜，包括：相對(duì)設(shè)置的第一支撐結(jié)構(gòu)和第二支撐結(jié)構(gòu)、第一夾取單元、第二夾取單元、多個(gè)氣缸、多個(gè)感應(yīng)單元和多個(gè)檢測(cè)單元；

所述第一支撐結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有所述第一夾取單元和多個(gè)所述氣缸，所述第一支撐結(jié)構(gòu)的外側(cè)設(shè)置有多個(gè)所述感應(yīng)單元；其中，所述第一支撐結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)為所述第一支撐結(jié)構(gòu)朝向所述第二支撐結(jié)構(gòu)的一側(cè)，所述第一支撐結(jié)構(gòu)的外側(cè)為所述第一支撐結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述第二支撐結(jié)構(gòu)的一側(cè)；

所述第二支撐結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有所述第二夾取單元和多個(gè)所述氣缸，所述第二支撐結(jié)構(gòu)的外側(cè)設(shè)置有多個(gè)所述感應(yīng)單元；其中，所述第二支撐結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)為所述第二支撐結(jié)構(gòu)朝向所述第一支撐結(jié)構(gòu)的一側(cè)，所述第二支撐結(jié)構(gòu)的外側(cè)為所述第二支撐結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述第一支撐結(jié)構(gòu)的一側(cè)；

所述第一夾取單元和所述第二夾取單元上分別設(shè)有所述檢測(cè)單元。

可選的，所述第一夾取單元包括第一上端夾取單元和第一下端夾取單元，所述第一上端夾取單元固定在所述第一支撐結(jié)構(gòu)，所述第一下端夾取單元可上下調(diào)節(jié)的設(shè)置在所述第一上端夾取單元下方；

所述第二夾取單元包括第二上端夾取單元和第二下端夾取單元，所述第二上端夾取單元固定在所述第二支撐結(jié)構(gòu)，所述第二下端夾取單元可上下調(diào)節(jié)的設(shè)置在所述第二上端夾取單元下方。

可選的，所述第一上端夾取單元與所述薄膜的接觸面、所述第一下端夾取單元與所述薄膜的接觸面、所述第二上端夾取單元與所述薄膜的接觸面以及所述第二下端夾取單元與所述薄膜的接觸面為光滑平面，用于夾取薄膜。

可選的，所述檢測(cè)單元包括：透射式物體檢測(cè)傳感器，所述透射式物體檢測(cè)傳感器包括：透射式物體檢測(cè)傳感器發(fā)射端和透射式物體檢測(cè)傳感器接收端；

設(shè)置在所述第一夾取單元上的所述透射式物體檢測(cè)傳感器有兩個(gè)，兩個(gè)所述透射式物體檢測(cè)傳感器沿所述第一夾取單元的延伸方向的兩端設(shè)置，其中，所述透射式物體檢測(cè)傳感器發(fā)射端設(shè)置在所述第一上端夾取單元；所述透射式物體檢測(cè)傳感器接收端設(shè)置在所述第一下端夾取單元，且在垂直方向?qū)?yīng)所述透射式物體檢測(cè)傳感器發(fā)射端；