[實用新型]一種電子特氣合成報警裝置

有效

• 申請號: 202122452163.1
• 申請日: 2021-10-12
• 公開（公告）號: CN216647536U
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 梁永強
• 申請（專利權）人: 和立氣體（上海）有限公司
• 主分類號: G08B21/16
• 分類號: G08B21/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種電子特氣合成報警裝置，包括安裝板，所述安裝板的底部固定連接有收集箱和氣泵，所述收集箱的底部固定連接有二號連接管，所述二號連接管的另一端固定連接有軸承座，所述軸承座的另一端固定連接有一號連接管，所述安裝板的下方設有環形電動滑軌，所述環形電動滑軌上設有滑道，所述滑道內滑動連接有滑塊，所述滑塊的底部固定連接有固定板，所述固定板的底部固定連接有連接板。該裝置在便于對泄露的硅烷進行吸收的同時并且還能擴大檢測與吸收范圍，增加了安全性，同時還減少了安裝數量，從而減小成本。

技術領域

本實用新型涉及報警裝置技術領域，尤其涉及一種電子特氣合成報警裝置。

背景技術

電子特氣被稱為半導體材料的“糧食”和“源”，在很大程度上決定了半導體器件性能的好壞，電子特氣的產品種類豐富，在集成電路的生產中需要的種類就超過種，而硅烷是電子特氣中最重要的品種，它是半導體多晶硅、外延膜生成、硅器件鈍化膜、聚硅膜的原料氣，在硅烷的生產合成過程中可能發生泄漏，而硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量，并且還帶有一定的毒性，是它是一種高危險性的氣體。

因此在硅烷的合成過程中需要對其進行監測和警報，而現有的警報器大多功能單一，僅僅起到警報作用，并沒有對泄露的氣體進行吸收等緩減措施，安全性較差。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決背景技術中涉及的現有技術存在的缺點，而提出的一種電子特氣合成報警裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種電子特氣合成報警裝置，包括安裝板，所述安裝板的底部固定連接有收集箱和氣泵，所述收集箱的底部固定連接有二號連接管，所述二號連接管的另一端固定連接有軸承座，所述軸承座的另一端固定連接有一號連接管，所述安裝板的下方設有環形電動滑軌，所述環形電動滑軌上設有滑道，所述滑道內滑動連接有滑塊，所述滑塊的底部固定連接有固定板，所述固定板的底部固定連接有連接板，所述連接板的一側固定連接有硅烷檢測器，所述硅烷檢測器一側設有警報器。

優選的，所述收集箱的頂部固定連接有出氣管，且出氣管上連接有電磁閥，所述出氣管的頂端貫穿安裝板并延伸出一部分。

優選的，所述安裝板和環形電動滑軌之間固定連接有四個連接桿，所述氣泵與收集箱相連接。

優選的，所述一號連接管的一端貫穿連接板并延伸出一部分，所述一號連接管與連接板固定連接。

優選的，所述二號連接管上設有單向閥，所述一號連接管的另一端固定連接有吸氣罩。

優選的，所述滑塊的圓心與二號連接管的圓心位置相對應，所述收集箱的中心與二號連接管的圓心位置相對應。

本實用新型至少具備以下有益效果：

一種電子特氣合成報警裝置，設置收集箱、環形電動滑軌、滑塊、連接板和一號連接管，便于對泄露的硅烷進行吸收，并且還能擴大檢測與吸收范圍，檢測到硅烷泄露后，氣泵開啟，使收集箱吸收外部混合有硅烷的空氣，與此同時滑塊在環形電動滑軌上滑動，從而帶動連接板轉動，連接板轉動會帶動硅烷檢測器、警報器和一號連接管轉動，進而增加硅烷的檢測和吸收范圍，使裝置不僅能起到警報作用，還能增加安全性，并且可以減少裝置的安裝數量，從而減少成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型的側視圖；

圖3為本實用新型的俯視圖；

圖4為本實用新型的仰視圖；