[實用新型]對接機械手防壓籃機構

有效

• 申請號: 202122195991.1
• 申請日: 2021-09-12
• 公開（公告）號: CN215680640U
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 陳偉;殷志江
• 申請（專利權）人: 釜川（無錫）智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京中仟知識產權代理事務所(普通合伙) 11825
• 代理人: 周慶佳

本實用新型公開對接機械手防壓籃機構，涉及光伏設備領域。該對接機械手防壓籃機構，包括：氣缸和固定板，氣缸的伸出軸固定連接在固定板的外壁上，固定板的上方裝配有接近開關；掛鉤板，掛鉤板連接有外界驅動組件，且掛鉤板的側壁與固定板相貼合，掛鉤板開設有貫通的兩個“T”形塊導向槽，固定板的另一側外壁上對稱固定連接有兩個“T”形導向塊，掛鉤板的底部對稱固定連接有兩個掛鉤。該對接機械手防壓籃機構，當掛鉤壓到花籃時，外界驅動組件帶動了掛鉤板上升，“T”形導向塊相對于“T”形塊導向槽進行滑動，起到了有效的定位與導向的作用，直至掛鉤板與接近開關接觸，系統自動提示壓籃報警，壓籃檢測效果更加靈敏。

技術領域

本實用新型涉及光伏設備技術領域，具體為對接機械手防壓籃機構。

背景技術

在半導體器件生產中，大約有20％的工序與硅片清洗有關，硅片經過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經受到嚴重的污染，清洗的目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。

在清洗時需要將硅片放置在花籃中，然后進行清洗，而在移動花籃時，需要使用到對接機械手，對接機械手通過掛鉤將花籃夾持固定，然后進行移動，且對接機械手一般設置有防壓籃機構，避免花籃受壓過大，造成硅片發生損壞，但是原有防壓籃機構采用直線軸承導柱結構，導柱表面硬度要求較高相應加工成本較高，遇到壓籃時直線軸承容易損壞，維護成本較高，軸承與導柱之間間隙較松，晃動明顯，容易吧造成硅片損失，因此我們提出了對接機械手防壓籃機構。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型公開了對接機械手防壓籃機構，以解決上述背景技術中提出的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：對接機械手防壓籃機構，包括：

氣缸和固定板，所述氣缸和固定板均固定連接在清洗機框架上，所述氣缸的伸出軸固定連接在固定板的外壁上，所述固定板的上方裝配有接近開關；

掛鉤板，所述掛鉤板連接有外界驅動組件，且所述掛鉤板的側壁與固定板相貼合，所述掛鉤板開設有貫通的兩個“T”形塊導向槽，所述固定板的另一側外壁上對稱固定連接有兩個“T”形導向塊，兩個所述“T”形導向塊的外壁分別與兩個“T”形塊導向槽的內壁相貼合，所述掛鉤板的底部對稱固定連接有兩個掛鉤。

優選的，所述“T”形導向塊的端部穿過“T”形塊導向槽向外延伸，且“T”形導向塊處于外界端部的寬度大于“T”形塊導向槽的寬度。

優選的，所述固定板的頂部固定連接有安裝板，所述接近開關固定連接在安裝板的上表面。

優選的，所述掛鉤板和兩個掛鉤為一體加工成型。

本實用新型公開了對接機械手防壓籃機構，其具備的有益效果如下：

1、該對接機械手防壓籃機構，在插片機與清洗機對接時，搬運換籃更加穩定，搬運速度也相對的得到了提升，節約了搬運時間，從而提升了整體產能，壓籃感應采用常閉式接近開關，當掛鉤壓到花籃時，外界驅動組件帶動了掛鉤板上升，“T”形導向塊相對于“T”形塊導向槽進行滑動，起到了有效的定位與導向的作用，直至掛鉤板與接近開關接觸，系統自動提示壓籃報警，壓籃檢測效果更加靈敏。

2、該對接機械手防壓籃機構，將壓籃導向改為“T”形導向塊結構，將導向接觸面從導柱與滾珠接觸方式更改為四方形面式接觸，增加了接觸面積，導向性能更加優異，整體采用SUS304板機加工一次成型，精度要求得到了保障，導向之間的間隙更加容易控制，掛鉤移動時花籃晃動情況得到了有效的改善，降低了硅片損失的風險。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。