[實用新型]一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪

有效

• 申請號: 202122189052.6
• 申請日: 2021-09-10
• 公開（公告）號: CN216009451U
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 袁東飛
• 申請（專利權）人: 南通天美機械有限公司
• 主分類號: F16H55/17
• 分類號: F16H55/17;F16H55/12;F16H57/00;B08B13/00
• 代理公司: 武漢智新達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42272
• 代理人: 謝厚霓

1.一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，包括齒輪(1)，其特征在于：所述齒輪(1)的內部設置有數量為兩個的固定塊(2)，所述齒輪(1)的正面設置有數量為兩個的固定機構(3)，所述固定機構(3)相背的一側均設置有防松動機構(4)，所述固定塊(2)的內部設置有連接軸(5)；

所述固定機構(3)包括固定板(31)，兩個所述固定板(31)的背面均與齒輪(1)的正面固定連接，所述固定塊(2)的正面固定安裝有安裝板(32)，所述安裝板(32)相對的一側均活動安裝有螺母(33)，所述固定板(31)相背的一側均活動安裝有一端貫穿固定板(31)、安裝板(32)和螺母(33)并延伸到螺母(33)相對的一側的螺紋桿(34)。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：所述固定塊(2)的左右兩側均開設有插孔，所述齒輪(1)的內壁左右兩側均固定安裝有延伸到插孔內部的插塊(11)。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：所述插塊(11)的數量為兩個，所述插塊(11)與插孔相匹配。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：下方所述固定塊(2)的正面開設有一端貫穿并延伸到固定塊(2)背面的插孔，上方所述固定塊(2)的底部固定安裝有延伸到插孔內部的滑塊(21)。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：所述滑塊(21)為T形滑塊，所述插孔與滑塊(21)相匹配。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：所述螺紋桿(34)與螺母(33)的連接方式為螺紋連接，兩個所述固定塊(2)的內部均與連接軸(5)的外部相接觸。

7.根據權利要求1所述的一種集成電路清洗設備用鈦連軸精密齒輪，其特征在于：所述防松動機構(4)包括數量為兩個的磁鐵(41)，兩個所述磁鐵(41)相對的一側均與固定板(31)相背的一側固定連接，兩個所述磁鐵(41)相背的一側均活動安裝有與螺紋桿(34)相背的一側固定連接的旋轉盤(42)，所述旋轉盤(42)為鐵，所述旋轉盤(42)與磁鐵(41)相匹配。