[實(shí)用新型]一種單晶爐加熱器升降裝置及單晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122177246.4
• 申請日: 2021-09-09
• 公開（公告）號: CN216156013U
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張朝光;朱永剛;李僑
• 申請（專利權(quán)）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628
• 代理人: 何麗娜;王勝利

1.一種單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，包括：

升降模組，所述升降模組為多個，多個所述升降模組均設(shè)置在所述單晶爐的下方，由多個所述升降模組圍合形成第一區(qū)域，所述第一區(qū)域與所述單晶爐內(nèi)坩堝放置區(qū)域相對應(yīng)；

與每一所述升降模組對應(yīng)設(shè)置：

空心密封組件，所述空心密封組件的頂端緊固設(shè)置于所述單晶爐的下方，所述空心密封組件的底端隨所述升降模組升降；

電極，所述電極的底端容納在所述空心密封組件內(nèi)，所述電極的頂端貫穿所述單晶爐的爐底后容納在所述單晶爐內(nèi)；所述電極隨所述升降模組升降；

連接件，所述連接件的底端與所述電極的頂端連接，所述連接件的頂端與加熱器連接；

所述電極、連接件和加熱器所具有的內(nèi)側(cè)面共面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述連接件的底端具有第一安裝槽，所述電極的頂端裝配于所述第一安裝槽；所述連接件的頂端具有第二安裝槽，所述加熱器的底端裝配于所述第二安裝槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述連接件包括第一安裝槽和第二安裝槽，所述第一安裝槽靠近所述連接件的底端，并自靠近所述電極的一側(cè)向遠(yuǎn)離所述電極的一側(cè)開設(shè)；所述第二安裝槽靠近所述連接件的頂端，并自靠近所述加熱器的一側(cè)向遠(yuǎn)離所述加熱器的一側(cè)開設(shè)；

所述電極的頂端裝配于所述第一安裝槽；

所述加熱器的底端裝配于所述第二安裝槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述電極包括：

密閉殼體，所述密閉殼體內(nèi)具有用于循環(huán)冷卻介質(zhì)的循環(huán)空間；

隔板，所述隔板設(shè)置在所述密閉殼體內(nèi)；

貫穿所述密閉殼體在位于所述隔板一側(cè)的位置形成所述冷卻介質(zhì)的入口，貫穿所述密閉殼體在位于所述隔板另一側(cè)的位置形成所述冷卻介質(zhì)的出口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述升降模組為兩個，每一所述升降模組均對應(yīng)配置一個伺服電機(jī)；或，所述升降模組為兩個，兩個所述升降模組共用一個伺服電機(jī)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，每一所述升降模組均包括：支撐框，所述支撐框具有承載部和連接部，所述承載部與所述單晶爐的爐底垂直，所述連接部與所述承載部連接，且所述連接部與所述爐底平行并與所述爐底緊固；

直線導(dǎo)軌，所述直線導(dǎo)軌設(shè)置在所述承載部的內(nèi)側(cè)面上，并自所述承載部的底端向頂端延伸；

絲杠螺母副，所述絲杠螺母副設(shè)置在所述承載部的內(nèi)側(cè)面以內(nèi)，并位于所述直線導(dǎo)軌的一側(cè)；

升降板，所述升降板與所述絲杠螺母副所包括的螺母連接，并沿所述直線導(dǎo)軌升降；

伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)由所述支撐框支撐，并與所述絲杠螺母副動力連接；

所述空心密封組件的頂端與所述連接部連接，所述空心密封組件的底端與所述升降板連接；所述電極的底端與所述升降板連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，每一所述升降模組還包括減速器，所述減速器所具有的動力輸入端與所述電機(jī)的輸出軸連接，所述減速器所具有的動力輸出端與所述絲杠螺母副動力連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述空心密封組件為波紋管，所述波紋管的頂端通過法蘭與所述連接部緊固連接，所述波紋管的底端通過所述法蘭與所述升降板緊固連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐加熱器升降裝置，其特征在于，所述法蘭與所述空心密封組件相對的一面開設(shè)密封槽，所述密封槽內(nèi)嵌入密封圈；和/或，所述加熱器為石墨加熱器。

10.一種單晶爐，其特征在于，所述單晶爐包括權(quán)利要求1至9任一項所述的單晶爐加熱器升降裝置。