[實用新型]一種光模組探針檢測裝置有效
| 申請號： | 202122171942.4 | 申請日： | 2021-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN215813135U | 公開（公告）日： | 2022-02-11 |
| 發明（設計）人： | 張哲遠 | 申請（專利權）人： | 上海帆測科技發展有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/01 | 分類號： | G01R31/01;G01R1/067;G01R1/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201100 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 模組 探針 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種光模組探針檢測裝置，其特征在于，包括基礎平臺(1)、電控箱(2)和模組檢測裝置(3)；
所述模組檢測裝置(3)包括滑軌組(5)，滑軌組(5)可拆卸設置在基礎平臺(1)上；
所述滑軌組(5)包括第一滑軌(51)、第二滑軌(52)和第三滑軌(53)，第一滑軌(51)上設有Y電機位移模組(6)，Y電機位移模組(6)上設有載物臺(61)，載物臺(61)上設有待測模組(7)和模組夾(62)；
所述第二滑軌(52)上設有第一X電機位移模組(521)、第一Z電機位移模組(522)和手動Y向位移臺(8)，手動Y向位移臺(8)上設有橫梁(81)、第一探針(82)、第一夾具(83)和第一攝像頭(84)；
所述第三滑軌(53)上設有第二X電機位移模組(531)和第二Z電機位移模組(9)，第二Z電機位移模組(9)上設有第二探針(91)、第二夾具(92)和第二攝像頭(93)；
所述基礎平臺(1)上設置有急停按鈕(11)、蓋板(12)、側板(13)和底板(14)。
2.根據權利要求1所述的一種光模組探針檢測裝置，其特征在于，所述底板(14)的底部設置有腳墊(4)。
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