[實用新型]一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置

有效

• 申請號: 202122153147.2
• 申請日: 2021-09-07
• 公開（公告）號: CN215590802U
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發明（設計）人: 李由根;李娜;吳婷;劉丹
• 申請（專利權）人: 東莞市宏誠光學制品有限公司
• 主分類號: B62B3/04
• 分類號: B62B3/04;C23C14/35;C23C14/04
• 代理公司: 東莞卓為知識產權代理事務所(普通合伙) 44429
• 代理人: 齊海迪

本實用新型公開了一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置，包括車架以及安裝于車架頂部的轉動輥組件、導向輪和固定裝置、轉動輥組件和導向輪各有若干個，若干個轉動輥組件之間沿車架的長度方向呈并排且間隔地布置，相鄰的兩個轉動輥組件之間均安裝有導向輪，導向輪呈可轉動地安裝于車架上，轉動輥組件的轉動中軸線沿車架的寬度方向布置，導向輪的轉動中軸線沿車架的高度方向布置，固定裝置安裝于轉動輥組件的前方和/或后方以用于將放置于該車架上的鍍膜版架進行鎖定或者釋鎖。本實用新型的通過以上結構可以實現對鍍膜版架的搬運過程中進行滑動、導向、鎖定或者釋鎖，極大地簡便了搬運的過程，且有效提高了搬運效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造的技術領域，具體涉及一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置。

背景技術

近年來，隨著電子信息技術的快速發展，電子產品更新換代的速度也隨之加快，智能手機、平板電腦、數碼相機，5G技術等產品的銷量也在持續增長，這給半導體芯片、半導體顯示、PCB、觸控等電子元器件的相關行業帶來了大份額的市場空間。掩膜版在下游電子元器件制造中起著紐帶的作用，是電子制造中的圖形轉移的母版，是下游產品質量的重要因素。隨著消費者對產品的要求逐步提高，對掩膜版的精度也在不斷增加；光掩膜基版作為掩膜版的基版，其精度要求會更趨向精細化，高精度的掩膜基版對生產中的環境要求極高。

而磁控濺射作為光掩膜基版的主要工藝，其對生產環境有著及其嚴格的要求，需在高度潔凈的車間進行鍍膜。鍍膜所應用到的鍍膜用具一般包括鍍膜版架，而鍍膜版架則需要無油以及無污染，因此進入到鍍膜腔體內才能保證產品的質量及性能。一般而言，掩膜基版在生產過程中采用的是臥式鍍膜機，包括上料臺、腔體以及下料臺，大部分鍍膜版版架較重,人工搬運較為吃力，易發生碰撞而造成污染，繼而影響產品的品質，且無塵車間空間有限，這就導致了使用人手進行轉移的搬運不便利。

因此，亟需一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置來解決上述問題。

實用新型內容

本項實用新型是針對現在的技術不足，提供一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置。

本實用新型為實現上述目的所采用的技術方案是：

一種可裝配于鍍膜機及用于鍍膜版架的搬運裝置，包括車架以及安裝于所述車架頂部的轉動輥組件、導向輪和固定裝置、所述轉動輥組件和所述導向輪各有若干個，若干個所述轉動輥組件之間沿所述車架的長度方向呈并排且間隔地布置，相鄰的兩個所述轉動輥組件之間均安裝有所述導向輪，所述導向輪呈可轉動地安裝于所述車架上，所述轉動輥組件的轉動中軸線沿所述車架的寬度方向布置，所述導向輪的轉動中軸線沿所述車架的高度方向布置，所述固定裝置安裝于所述轉動輥組件的前方和/或后方以用于將放置于該車架上的鍍膜版架進行鎖定或者釋鎖。

作進一步改進，所述車架包括主體框架、定位輪以及萬向輪，所述轉動輥組件、所述導向輪以及所述固定裝置均安裝于所述主體框架的頂部，所述定位輪和所述萬向輪各有兩個，兩個所述定位輪呈相對立地安裝于所述主體框架的底部之一側，兩個所述萬向輪呈相對立地安裝于所述主體框架的底部之另一側。

作進一步改進，所述固定裝置為定位插銷。

作進一步改進，所述主體框架的頂部安裝面呈矩形，所述固定裝置有四個，且所述固定裝置分別位于所述主體框架的四個角落位置處。

作進一步改進，所述車架還包括供操作人員推拉所述主體框架用的推拉把手，所述推拉把手安裝于所述主體框架上，且所述推拉把手位于所述轉動輥組件的前方和/或后方。

作進一步改進，所述推拉把手與所述轉動輥組件呈相互平行地布置。

作進一步改進，所述導向輪包括圓柱部以及錐臺部，所述圓柱部的頂面與所述錐臺部的底面相接，所述圓柱部的底面呈可轉動地安裝于所述主體框架上。

作進一步改進，所述導向輪沿所述主體框架的寬度方向呈兩兩相對立地布置。