[實用新型]PE光刻版取版裝置有效
| 申請號： | 202122135319.3 | 申請日： | 2021-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN215642234U | 公開（公告）日： | 2022-01-25 |
| 發明（設計）人： | 唐紅梅;王毅 | 申請（專利權）人： | 揚州揚杰電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 郭翔 |
| 地址： | 225008 江蘇省揚*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | pe 光刻 版取版 裝置 | ||
1.PE光刻版取版裝置，其特征在于，包括底板和若干頂針；
若干所述頂針設置在所述底板上，位于版架的內，與光刻版的邊緣無圖形區域相對應；
若干所述頂針的高度大于所述版架的厚度，所述版架與光刻版分離后，所述版架與光刻版之間設有間距。
2.根據權利要求1所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，若干所述頂針不少于三根。
3.根據權利要求1所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，若干所述頂針為四根。
4.根據權利要求1或3所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，若干所述頂針包括一對對稱設置的第一頂針和一對對稱設置的第二頂針；
所述第一頂針的高度大于所述版架的厚度，小于第二頂針的高度。
5.根據權利要求1、2或3所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，若干所述頂針可拆卸固定設置在所述底板上。
6.根據權利要求5所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，所述底板上設有若干均布設置的安插孔。
7.根據權利要求5所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，所述頂針的頂部呈弧形結構。
8.根據權利要求5所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，所述頂針的頂部設有彈性層。
9.根據權利要求1所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，所述底板為特氟龍底板。
10.根據權利要求1所述的PE光刻版取版裝置，其特征在于，所述底板上設有若干與版架適配的緩沖機構；
所述緩沖機構包括彈簧和緩沖柱；
所述底板上設有與所述緩沖機構適配的緩沖腔；
所述彈簧設置在所述緩沖腔內，位于所述緩沖柱的下方；
所述緩沖柱呈T型結構，底部限設在所述緩沖腔內，頂部通過彈簧從所述緩沖腔的頂部伸出。
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