[實(shí)用新型]一種芯片臟污自動(dòng)檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202122133463.3
• 申請(qǐng)日: 2021-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN215894362U
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉金杰;廖茂密
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山普杰科特半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/01
• 分類號(hào): G01N21/01;G01N21/94
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 王美章

1.一種芯片臟污自動(dòng)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：

安裝板（3），其沿豎直方向設(shè)置；

檢測(cè)組件（1），用于對(duì)待檢測(cè)的芯片拍照取像，以獲取芯片上塵點(diǎn)的位置信息，其包括：

圖像傳感器（11），其通過(guò)第一固定件（4）與所述安裝板（3）相裝配；

檢測(cè)鏡頭（12），其平行于所述安裝板（3）并通過(guò)第二固定件（5）與所述安裝板（3）相裝配，且其頂端與所述圖像傳感器（11）相接；

照明組件（2），用于對(duì)待檢測(cè)的芯片進(jìn)行照明來(lái)輔助完成檢測(cè)工作，其包括：

第一光源件（21），其固定裝配于所述檢測(cè)鏡頭（12）的側(cè)壁上，且其照明光路與所述檢測(cè)鏡頭（12）的檢測(cè)光路同軸設(shè)置；

第二光源件（22），包括若干組，若干組所述第二光源件（22）沿圓周方向間隔并均勻排布于所述檢測(cè)鏡頭（12）的輸出端，且其與所述檢測(cè)鏡頭（12）的中軸線傾斜設(shè)置；

所述第一光源件（21）與第二光源件（22）的照明光路匯集成一點(diǎn)并落至待測(cè)芯片上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片臟污自動(dòng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第二光源件（22）通過(guò)調(diào)節(jié)固定架與所述安裝板（3）相連，所述調(diào)節(jié)固定架包括：

固定環(huán)（6），其橫向固定于所述安裝板（3）的底端，并與所述檢測(cè)鏡頭（12）同軸設(shè)置；

調(diào)節(jié)吊耳（7），一組所述第二光源件（22）對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)調(diào)節(jié)吊耳（7），若干個(gè)所述調(diào)節(jié)吊耳（7）以中心對(duì)稱形式垂直并固定于所述固定環(huán)（6）的底部；

連接件（8），所述第二光源件（22）通過(guò)連接件（8）與所述調(diào)節(jié)吊耳（7）相裝配，所述調(diào)節(jié)吊耳（7）上開設(shè)有條狀弧形的滑槽（71），所述連接件（8）通過(guò)所述滑槽（71）與調(diào)節(jié)吊耳（7）滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片臟污自動(dòng)檢測(cè)裝置，其特征在于：所述第二光源件（22）的傾斜角度范圍是15~75°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片臟污自動(dòng)檢測(cè)裝置，其特征在于：所述第一光源件（21）與檢測(cè)鏡頭（12）之間設(shè)有發(fā)射光路的角度轉(zhuǎn)換棱鏡。