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[實用新型]石英舟有效

專利信息
申請號: 202122132435.X 申請日: 2021-09-03
公開(公告)號: CN215517745U 公開(公告)日: 2022-01-14
發明(設計)人: 顧小英;狄聚青;趙青松;牛曉東;朱劉 申請(專利權)人: 安徽光智科技有限公司
主分類號: C30B28/08 分類號: C30B28/08;C30B29/08
代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 代理人: 張向琨
地址: 239004 安徽省滁州市瑯琊區瑯琊經濟*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 石英
【說明書】:

本公開提供一種石英舟,其具有頭部內壁面、尾部內壁面、兩側部內壁面以及底面,頭部內壁面、尾部內壁面、兩側部內壁面以及底面形成具有開口的內腔,底面面對開口,石英舟還具有斜擋板,斜擋板相對頭部內壁面靠近尾部內壁面;斜擋板在兩側部內壁面相對的方向上連接于兩側部內壁面,斜擋板在底部連接于底面,斜擋板具有第一面、第二面以及頂面;第一面面向頭部內壁面且與頭部內壁面間隔開,第二面面向尾部內壁面且與尾部內壁面間隔開,頂面將第一面和第二面連接且位于內腔內;斜擋板的第一面從底面朝向開口并朝向尾部內壁面傾斜。在區熔制備鍺多晶時,鍺料會沿著斜擋板流入斜擋板后面,從而避免鍺料從石英舟中溢出到石英管上,避免石英管破裂。

技術領域

本公開涉及材料制造領域,尤其涉及一種石英舟。

背景技術

提純超高純鍺多晶的石英舟在區熔過程中隨著區熔次數的增加,尾部鍺料會越來越多,區熔至尾部時,尾部鍺料易從石英舟溢出到石英管導致裂管,且雜質易堆積在尾部。

實用新型內容

鑒于背景技術中存在的問題,本公開的目的在于提供一種石英舟,其能適用于在區熔制備鍺多晶中將含有雜質的尾部的鍺料收集,避免尾部鍺料從石英舟中外溢,進而避免裝載石英管破裂。

由此,在一些實施例中,一種石英舟具有頭部內壁面、尾部內壁面、兩側部內壁面以及底面,頭部內壁面、尾部內壁面、兩側部內壁面以及底面形成具有開口的內腔,底面面對開口,石英舟還具有斜擋板,斜擋板相對頭部內壁面靠近尾部內壁面;斜擋板在兩側部內壁面相對的方向上連接于兩側部內壁面,斜擋板在底部連接于底面,斜擋板具有第一面、第二面以及頂面;第一面面向頭部內壁面且與頭部內壁面間隔開,第二面面向尾部內壁面且與尾部內壁面間隔開,頂面將第一面和第二面連接且位于內腔內;斜擋板的第一面從底面朝向開口并朝向尾部內壁面傾斜。

在一些實施例中,斜擋板的第一面與底面的夾角大于90度小于180度。

在一些實施例中,斜擋板的第一面與底面的夾角大于120度小于150度。

在一些實施例中,斜擋板為平板狀。

在一些實施例中,斜擋板的頂面為平面。

在一些實施例中,斜擋板還具有第三面和第四面,第三面面向底面,第三面在上端連接于第四面,第三面在下端連接于底面,第三面在兩側部內壁面相對的方向上連接于兩側部內壁面;第四面面向底面,第四面在上端連接于第三面,第四面在下端連接于底面,第四面在兩側部內壁面相對的方向上連接于兩側部內壁面;第三面、第四面、兩側部內壁面以及底面圍成空腔。

在一些實施例中,頂面為圓弧面。

在一些實施例中,第二面與底面的交界處倒圓。

在一些實施例中,底面和兩側部內壁面位于斜擋板和尾部內壁面之間的部分、斜擋板的第二面以及尾部內壁面設置有硅膜。

在一些實施例中,尾部內壁面和兩側部內壁面均為從底面向開口向外傾斜的斜面;頭部內壁面為垂直于底面的直立面或頭部內壁面為從底面向開口向外傾斜的斜面。

本公開的有益效果如下:斜擋板將內腔分成兩個部分,由于頂面位于內腔內(即頂面低于開口所處的高度),這兩個部分僅在斜擋板的頂面連通,在鍺多晶制備過程中,隨著區熔次數的增加,石英舟內部的處于尾部的鍺料會越來越多,區熔至尾部時,鍺料會沿著斜擋板流入斜擋板后面,從而避免鍺料從石英舟中溢出到石英管上,避免石英管破裂。此外,與采用直立擋板(即第一面為豎直面的情況)相比,斜擋板鍺料流入到內腔的處于斜擋板后方的部分更容易,同時,能夠利用斜擋板的斜面,對來自尾部上游(即從尾部朝向頭部的部分)的鍺料的冷脹的應力能夠很好地沿斜擋板釋放。

附圖說明

圖1是根據本公開的第一實施例的石英舟的立體圖。

圖2是圖1的從頭部觀察的前視圖。

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