[實(shí)用新型]壓力動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202122113553.6
• 申請(qǐng)日: 2021-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN215789076U
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張軍;王焱海;申波;魯元朋;宋均恒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 洛陽市潤智數(shù)控設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/11
• 分類號(hào): B24B37/11;B24B37/34;B24B37/005;B24B41/02;B24B47/12;B24B41/04
• 代理公司: 北京細(xì)軟智谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11471
• 代理人: 王金鳳

本實(shí)用新型提供一種壓力動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置，包括壓盤、用于連接壓盤且使壓盤能夠擺動(dòng)的橫梁，橫梁與壓盤之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)壓盤與豎直方向的夾角的調(diào)節(jié)組件，還包括測(cè)量壓盤在工作時(shí)測(cè)量冷卻液溫度的多個(gè)溫度傳感器，調(diào)節(jié)組件包括有多個(gè)調(diào)節(jié)元件，調(diào)節(jié)元件與壓盤可滑動(dòng)連接，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)元件使壓盤的表面與工件的表面相接觸，保證工件整體受力均勻，溫度傳感器的個(gè)數(shù)與調(diào)節(jié)元件的個(gè)數(shù)和位置相對(duì)應(yīng)，溫度傳感器與調(diào)節(jié)元件可通信連接，以控制調(diào)節(jié)元件調(diào)節(jié)壓盤與豎直方向的夾角，當(dāng)一側(cè)溫度傳感器感受到溫度升高時(shí)，調(diào)整與溫度升高的相對(duì)的一側(cè)的調(diào)節(jié)元件運(yùn)動(dòng)，使溫度升高的一側(cè)的壓盤升高，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)壓盤微調(diào)的目的，保證工件在研磨的過程中受力均勻。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及機(jī)械研磨技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種壓力動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

目前在玻璃、硅片、陶瓷片等薄脆零件的研磨領(lǐng)域。對(duì)于運(yùn)行的平穩(wěn)性、壓力分布的一致性都有較高要求，在壓力分布不均時(shí)，將出現(xiàn)單個(gè)工件受壓破碎，引發(fā)整盤加工報(bào)廢。為了保證成品率，現(xiàn)有工藝均采用低壓力，低效率的方式進(jìn)行加工。但是隨著半導(dǎo)體、精密陶瓷、超薄玻璃的用量逐年增大，傳統(tǒng)的加工方式已無法滿足需求，其中，在研磨的過程中由于研磨的壓力的過大，同樣會(huì)導(dǎo)致的溫度比較高。

研究如何解決現(xiàn)有研磨過程中如何保持工件的受力均勻，保證成品率的問題，這個(gè)問題是本領(lǐng)域技術(shù)人員主要解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種壓力動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的研磨過程中如何保持工件的受力均勻，保證成品率的問題。本實(shí)用新型提供的諸多技術(shù)方案中的優(yōu)選技術(shù)方案所能產(chǎn)生的諸多技術(shù)效果(A、B、C)詳見下文闡述。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供的一種壓力動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置，包括壓盤、用于連接所述壓盤且使所述壓盤能夠擺動(dòng)的橫梁，所述橫梁與所述壓盤之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)所述壓盤與豎直方向的夾角的調(diào)節(jié)組件，還包括用于測(cè)量壓盤在工作時(shí)測(cè)量冷卻液溫度的多個(gè)溫度傳感器，所述調(diào)節(jié)組件包括有多個(gè)調(diào)節(jié)元件，所述調(diào)節(jié)元件與所述壓盤可滑動(dòng)連接，所述溫度傳感器的個(gè)數(shù)與所述調(diào)節(jié)元件的個(gè)數(shù)和位置相對(duì)應(yīng)，所述溫度傳感器與調(diào)節(jié)元件可通信連接，以控制調(diào)節(jié)元件調(diào)節(jié)所述壓盤與豎直方向的夾角。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)組件與所述壓盤之間還設(shè)置有連接組件，所述連接組件的一端與調(diào)節(jié)元件相連接，所述連接組件的另一端與所述壓盤相連接。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)組件包括設(shè)置在所述橫梁下端連接板、沿所述連接板的周向均勻設(shè)置多個(gè)第二活塞缸，所述第二活塞缸的第二活塞桿與所述連接組件相連接，以帶動(dòng)所述連接組件運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述連接組件包括與所述第二活塞缸的第二活塞桿的一端滑動(dòng)連接的接盤、帶動(dòng)所述接盤轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸、連接所述轉(zhuǎn)軸與所述接盤的連接元件，所述連接元件能使所述接盤沿著所述接盤的軸向擺動(dòng)。

優(yōu)選地，所述連接元件包括與所述轉(zhuǎn)軸相連接的球接頭、與所述球接頭相配合的球底座，所述球底座與所述接盤相連接，所述球接頭與球底座之間通過鍵或者花鍵連接，所述花鍵的軸向與所述轉(zhuǎn)軸的軸向相同。

優(yōu)選地，還包括帶動(dòng)所述壓盤轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力組件，所述動(dòng)力組件包括電機(jī)、設(shè)置在所述橫梁上的傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括第一輸入軸、第一輸出軸、套設(shè)在所述第一輸入軸與所述第一輸出軸上的傳動(dòng)帶，所述轉(zhuǎn)軸為所述第一輸出軸，所述轉(zhuǎn)軸穿過所述橫梁、所述調(diào)節(jié)組件與所述連接元件相連接，所述電機(jī)的第二輸出軸與所述第一輸入軸相連接。

優(yōu)選地，所述第二活塞缸的輸入端設(shè)置有比例閥，所述比例閥與所述控制器可通信連接。

優(yōu)選地，所述球底座的外周面設(shè)置有臺(tái)階，所述接盤上設(shè)置安裝所述底座的安裝孔，所述安裝孔卡設(shè)在所述臺(tái)階上。

優(yōu)選地，所述凹槽設(shè)置在所述接盤的中間位置，所述溫度傳感器設(shè)置在所述凹槽內(nèi)。