[實用新型]一種石墨舟卡點拆裝系統有效
| 申請號: | 202121867912.0 | 申請日: | 2021-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN215481255U | 公開(公告)日: | 2022-01-11 |
| 發明(設計)人: | 劉祖利;何悅 | 申請(專利權)人: | 橫店集團東磁股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 梁佳強 |
| 地址: | 322118 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 舟卡點 拆裝 系統 | ||
1.一種石墨舟卡點拆裝系統,所述石墨舟上設有卡點孔(201),其特征在于,所述石墨舟卡點拆裝系統包括:
固定底板(1),所述固定底板(1)上開設有第一通孔;
導向板(2),所述導向板(2)設置于所述固定底板(1)上,且所述導向板(2)上開設有第二通孔;
供料組件(3),安裝于所述導向板(2)上,所述供料組件(3)用于存放卡點(100),且所述供料組件(3)出料端與所述第二通孔連通;
推送組件,滑動設置于所述固定底板(1)上,所述推送組件上設有放置孔,所述放置孔用于放置所述供料組件(3)提供的卡點(100),且所述推送組件能將所述卡點(100)推送至目標位置,在所述目標位置處,所述放置孔、所述第一通孔和所述卡點孔(201)三者正對;
壓桿組件,所述壓桿組件設置于所述導向板(2)一側,被配置為在所述推送組件將所述卡點(100)推送至所述目標位置時,所述壓桿組件能夠將所述放置孔內的所述卡點(100)壓入石墨舟舟片(200)上的卡點孔(201);以及
所述壓桿組件能夠將所述石墨舟舟片(200)上的卡點(100)壓出所述卡點孔(201)。
2.根據權利要求1所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述推送組件包括連接板(41)以及間隔連接于所述連接板(41)上的多個送料板(42),所述送料板(42)開設有所述放置孔。
3.根據權利要求2所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述推送組件包括把手(43),所述把手(43)安裝于所述連接板(41)上。
4.根據權利要求2所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述石墨舟卡點拆裝系統還包括滑軌(71)和滑塊(72),所述滑軌(71)固定于所述固定底板(1)上,所述滑塊(72)固定于所述連接板(41)上,所述滑塊(72)能沿所述滑軌(71)滑動。
5.根據權利要求1所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述石墨舟卡點拆裝系統包括第一限位塊(61),所述第一限位塊(61)固定于所述固定底板(1)上,當所述放置孔正對所述第二通孔時,所述推送組件抵接于所述第一限位塊(61)。
6.根據權利要求1所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述壓桿組件包括壓桿(51),所述壓桿(51)下壓時能將所述放置孔內的所述卡點(100)壓入所述石墨舟舟片(200)的卡點孔(201),以及能夠穿過所述第一通孔將所述石墨舟舟片(200)上的所述卡點(100)壓出所述卡點孔(201)。
7.根據權利要求6所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述壓桿組件還包括壓桿固定導向塊(52),所述壓桿固定導向塊(52)固定于所述固定底板(1)上,所述壓桿固定導向塊(52)上設有第三通孔,所述第三通孔與所述第一通孔正對設置,所述壓桿(51)滑動穿設于所述第三通孔。
8.根據權利要求7所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述壓桿組件還包括彈性件(53),所述彈性件(53)的一端連接所述壓桿固定導向塊(52),另一端連接所述壓桿(51)。
9.根據權利要求8所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述石墨舟卡點拆裝系統還包括第二限位塊(62),所述第二限位塊(62)固定于所述固定底板(1)上,當所述放置孔正對所述第一通孔和第三通孔時,所述推送組件抵接于所述第二限位塊(62)。
10.根據權利要求1所述的石墨舟卡點拆裝系統,其特征在于,所述供料組件(3)包括卡點筒,所述卡點筒安裝于所述導向板(2)上,所述卡點筒用于儲存所述卡點(100),且所述卡點筒下端與所述第二通孔連通。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





