[實(shí)用新型]一種高純釕靶生產(chǎn)用打磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121742337.1
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號(hào): CN216138727U
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永超;居炎鵬;趙澤良;仝紅巖;王留土;鄭海強(qiáng);史豪杰;陳耘田;郭利樂;劉占軍;李偉
• 申請（專利權(quán)）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B24B41/06
• 分類號(hào): B24B41/06;B24B55/00
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 關(guān)璐琪

本實(shí)用新型公開了一種高純釕靶生產(chǎn)用打磨裝置，包括底板，所述底板上表面的四角處設(shè)置有支撐柱，所述支撐柱的頂部固定有支撐板，所述支撐板的底部固定連接有打磨機(jī)構(gòu)；所述底板的上表面的前后兩側(cè)均開設(shè)有水平的凹槽，所述凹槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有雙向螺紋桿，兩個(gè)所述雙向螺紋桿的左端均延伸至所述底板的外側(cè)，且兩者之間通過皮帶傳動(dòng)連接，其中一個(gè)雙向螺紋桿上設(shè)置有自鎖式手輪；所述雙向螺紋桿上螺紋旋向相反的部分上分別設(shè)置有移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊與所述雙向螺紋桿之間螺紋連接且其卡設(shè)在所述凹槽內(nèi)，所述移動(dòng)塊的上表面設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)，前后兩個(gè)對應(yīng)的伸縮機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有水平的安裝桿，所述安裝桿上套裝有用于緊固靶材的夾持組件。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及靶材生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高純釕靶生產(chǎn)用打磨裝置。

背景技術(shù)

高純釕靶是電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)中不可或缺，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。打磨，是表面改性技術(shù)的一種，一般指借助粗糙物體（含有較高硬度顆粒的砂紙等）來通過摩擦改變材料表面物理性能的一種加工方法，主要目的是為了獲取特定表面粗糙度。

現(xiàn)有的打磨裝置，在對靶材進(jìn)行固定時(shí)，用于夾持靶材的夾具其本身的高度時(shí)固定的，因此會(huì)存在無法根據(jù)靶材的高度調(diào)整夾具的高度，導(dǎo)致整個(gè)夾具無法對靶材進(jìn)行有效地固定；且現(xiàn)有的夾具局限性較大，不能夠同時(shí)完成柱狀和矩形狀靶材的夾持。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種高純釕靶生產(chǎn)用打磨裝置，以解決上述背景技術(shù)中所存在的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種高純釕靶生產(chǎn)用打磨裝置，包括底板，所述底板上表面的四角處設(shè)置有支撐柱，所述支撐柱的頂部固定有支撐板，所述支撐板的底部固定連接有打磨機(jī)構(gòu)；所述底板的上表面的前后兩側(cè)均開設(shè)有水平的凹槽，所述凹槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有雙向螺紋桿，兩個(gè)所述雙向螺紋桿的左端均延伸至所述底板的外側(cè)，且兩者之間通過皮帶傳動(dòng)連接，其中一個(gè)雙向螺紋桿上設(shè)置有自鎖式手輪；所述雙向螺紋桿上螺紋旋向相反的部分上分別設(shè)置有移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊與所述雙向螺紋桿之間螺紋連接且其卡設(shè)在所述凹槽內(nèi)，所述移動(dòng)塊的上表面設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)，前后兩個(gè)對應(yīng)的伸縮機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有水平的安裝桿，所述安裝桿上套裝有用于緊固靶材的夾持組件。

進(jìn)一步地，所述夾持組件包括滑動(dòng)套裝在所述安裝桿上的安裝塊，貫穿所述安裝塊的水平的固定桿；每一根所述安裝桿上的安裝塊均有四個(gè)；所述固定桿滑動(dòng)設(shè)置在所述安裝塊內(nèi)，且位于所述安裝桿的下方；所述固定桿靠近所述底板中間的一端設(shè)置有夾持件，所述夾持件分為兩組，一組為四個(gè)用于夾持矩形靶材的夾持板，另一組為四個(gè)用于夾持圓柱形靶材的夾持塊；所述夾持板與所述固定桿之間垂直設(shè)置，所述夾持塊的夾持面與圓柱形靶材的側(cè)面之間相切；所述安裝塊上設(shè)置有用于將安裝塊緊固在安裝桿上的第一緊固螺栓和用于將固定桿緊固在安裝塊上的第二緊固螺栓；所述第一緊固螺栓貫穿所述安裝塊并與所述安裝塊之間螺紋連接，且其端部壓緊在與所述安裝桿的表面；所述第二緊固螺栓貫穿所述安裝塊并與所述安裝塊之間螺紋連接，且其端部壓緊在與所述固定桿的表面。

進(jìn)一步地，所述伸縮機(jī)構(gòu)包括固定在所述移動(dòng)塊上表面的套筒，以及套裝在所述套筒內(nèi)的支撐桿；所述套筒上從上往下設(shè)置有若干個(gè)通孔，所述支撐桿的底部設(shè)置有安裝孔，所述支撐桿和所述套筒通過貫穿所述通孔和所述安裝塊的螺栓連接。

進(jìn)一步地，當(dāng)支撐桿位于所述套筒內(nèi)的最下方時(shí)，所述夾持件的下端與所述底板的上表面抵接。

進(jìn)一步地，所述支撐桿、所述安裝桿、以及所述固定桿的截面均為矩形。

進(jìn)一步地，所述夾持板與靶材的接觸面上、所述夾持塊的夾持面上均通過彈簧連接有緩沖板；所述緩沖板與靶材的接觸面上設(shè)置有柔性材料層。