[實用新型]薄鑄鋁式加熱器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121695079.6
• 申請日: 2021-07-26
• 公開（公告）號: CN215345108U
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝龍
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰市輝龍電熱電器有限公司
• 主分類號: H05B3/06
• 分類號: H05B3/06;H05B3/02
• 代理公司: 無錫大揚專利事務(wù)所(普通合伙) 32248
• 代理人: 何軍

本實用新型涉及一種薄鑄鋁式加熱器，其特征在于它包括被加熱管、上鋁塊、中鋁塊、下鋁塊、上鋁蓋、下鋁蓋、硅膠加熱片和保溫材料；上鋁塊壓放在中鋁塊上方，上鋁塊與中鋁塊之間設(shè)有一排上被加熱管孔；下鋁塊壓放在中鋁塊下方，下鋁塊與中鋁塊之間設(shè)有一排下被加熱管孔；上鋁蓋壓蓋在上鋁塊上方，在上鋁蓋與上鋁塊之間設(shè)置一硅膠加熱片；下鋁蓋壓蓋在下鋁塊下方，在下鋁蓋與下鋁塊之間設(shè)置一硅膠加熱片；在上鋁塊、中鋁塊、下鋁塊、上鋁蓋與下鋁蓋的外側(cè)包覆有保溫材料；在上被加熱管孔和下被加熱管孔中設(shè)有串通連接的被加熱管，上被加熱管孔和下被加熱管孔的內(nèi)壁分別與被加熱管外側(cè)緊密貼合。本實用新型具有安裝方便及能大大提高芯片生產(chǎn)中使用的加熱物質(zhì)的加熱效果的優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種加熱器，尤其涉及一種用于芯片生產(chǎn)設(shè)備中氣管排管加熱的薄鑄鋁式加熱器。

背景技術(shù)

目前芯片生產(chǎn)設(shè)備在生產(chǎn)芯片的過程中使用的氣體或液體介質(zhì)是要先通過輸送管進行加熱，有采用電熱帶纏繞包裹在外管壁上對管內(nèi)物質(zhì)進行加熱，該方法安裝比較復(fù)雜，加熱效果不好；另外還有采用被加熱管的方式，這種方式加熱溫度由于加熱有效面積小，加熱很不均勻，溫差很大會出現(xiàn)局部高溫；由此使得芯片生產(chǎn)過程中使用的加熱物質(zhì)的加熱效果不佳，從而影響芯片的生產(chǎn)質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對以上缺點，本實用新型的目的在于提供一種安裝方便及能大大提高芯片生產(chǎn)中使用的加熱物質(zhì)的加熱效果的薄鑄鋁式加熱器。

本實用新型的技術(shù)內(nèi)容為，一種薄鑄鋁式加熱器，其特征在于它包括被加熱管、上鋁塊、中鋁塊、下鋁塊、上鋁蓋、下鋁蓋、硅膠加熱片和保溫材料；上鋁塊壓放在中鋁塊上方，上鋁塊與中鋁塊之間設(shè)有一排上被加熱管孔；下鋁塊壓放在中鋁塊下方，下鋁塊與中鋁塊之間設(shè)有一排下被加熱管孔；上鋁蓋壓蓋在上鋁塊上方，在上鋁蓋與上鋁塊之間設(shè)置一硅膠加熱片；下鋁蓋壓蓋在下鋁塊下方，在下鋁蓋與下鋁塊之間設(shè)置一硅膠加熱片；在上鋁塊、中鋁塊、下鋁塊、上鋁蓋與下鋁蓋的外側(cè)包覆有保溫材料；在上被加熱管孔和下被加熱管孔中設(shè)有串通連接的被加熱管，上被加熱管孔和下被加熱管孔的內(nèi)壁分別與被加熱管外側(cè)緊密貼合。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點為：本實用新型通過被加熱管的進、出管口可直接連接到芯片生產(chǎn)設(shè)備的輸送管上，其安裝方便；同時通過硅膠加熱片對上鋁塊和下鋁塊進行加熱，由于上被加熱管孔和下被加熱管孔的內(nèi)壁分別與被加熱管外側(cè)緊密貼合從而能對被加熱管進行均勻加熱，實現(xiàn)良好的加熱效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種薄鑄鋁式加熱器，其特征在于它包括被加熱管1、上鋁塊2、中鋁塊3、下鋁塊4、上鋁蓋5、下鋁蓋6、硅膠加熱片7和保溫材料8；上鋁塊2壓放在中鋁塊3上方，上鋁塊2與中鋁塊3之間設(shè)有一排上被加熱管孔9；下鋁塊4壓放在中鋁塊3下方，下鋁塊4與中鋁塊3之間設(shè)有一排下被加熱管孔10；上鋁蓋5壓蓋在上鋁塊2上方，在上鋁蓋5與上鋁塊2之間設(shè)置一硅膠加熱片7；下鋁蓋6壓蓋在下鋁塊4下方，在下鋁蓋6與下鋁塊4之間設(shè)置一硅膠加熱片7；在上鋁塊2、中鋁塊3、下鋁塊4、上鋁蓋5與下鋁蓋6的外側(cè)包覆有保溫材料8；在上被加熱管孔9和下被加熱管孔10中設(shè)有串通連接的被加熱管1，上被加熱管孔9和下被加熱管孔10的內(nèi)壁分別與被加熱管1外側(cè)緊密貼合。

本實用新型的工作原理為，將被加熱管1的進、出管口直接與芯片生產(chǎn)設(shè)備的輸氣管連接，再通過硅膠加熱片7進行通電發(fā)熱后對上鋁塊2和下鋁塊4分別進行加熱，上鋁塊2和下鋁塊4對中鋁塊3進行傳導(dǎo)加熱，上鋁塊2下鋁塊4和中鋁塊3對被加熱管1中的物質(zhì)進行加熱；同時也可根據(jù)需要對上鋁塊2與中鋁塊3之間的硅膠加熱片7或下鋁塊4與中鋁塊3之間的硅膠加熱片7進行單獨通電發(fā)熱。