[實用新型]一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置

有效

• 申請號: 202121692327.1
• 申請日: 2021-07-24
• 公開（公告）號: CN215490748U
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 談遜;談謙;曾龍輝;談宇清
• 申請（專利權）人: 華廈半導體（深圳）有限公司
• 主分類號: F26B11/02
• 分類號: F26B11/02;F26B23/00;F26B25/02;F26B25/16
• 代理公司: 合肥市都耒知識產權代理事務所(普通合伙) 34227
• 代理人: 邱丹

本實用新型公開了一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置，包括干燥瓶、密封蓋、翻轉結構、連接板、固定板、石英管、轉動軸、轉盤、連桿、轉輪、驅動結構、加熱座和導熱結構。本實用新型的有益效果是：利用驅動結構驅動轉輪轉動，轉輪轉動會帶動連桿轉動，而轉輪的直徑小于轉盤的直徑，從而轉輪轉動時會帶動連桿在轉盤上周期往復轉動，使得轉盤往復運動，進而轉盤往復轉動會帶動轉軸和石英管往復轉動，而轉軸連接于石英管的中部位置，從而會帶動石英管沿著徑向轉動，使石英管內的氧化鎵粉末進行震蕩，從而使氧化鎵粉末與石英管充分接觸并受熱干燥，大大提高了氧化鎵粉末的干燥效率，從而能顯著提高氧化鎵粉末的干燥效率，節省時間，使用方便。

技術領域

本實用新型涉及一種干燥裝置，具體為一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置，屬于半導體材料生產技術領域。

背景技術

氧化鎵是一種無機化合物，別名三氧化二鎵，是一種寬禁帶半導體，其導電性能和發光特性長期以來一直引起人們的注意。氧化鎵是一種透明的氧化物半導體材料，在光電子器件方面有廣闊的應用前景，被用作于鎵基半導體材料的絕緣層，以及紫外線濾光片，它還可以用作氧氣化學探測器。

但現有的技術在生產氧化鎵粉末時需要進行干燥，而干燥時通常將氧化鎵粉末置于石英管和干燥裝置內，進而在干燥時，石英管內的氧化鎵粉末不便于與石英管進行充分接觸，從而在干燥受熱時不均，造成干燥效率低，甚至損壞石英管。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置，調節方便，干燥效果好，操作簡便。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的，一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置，包括干燥瓶和加熱座，所述加熱座上設有干燥瓶，所述干燥瓶的頂部連接有密封蓋，所述密封蓋上設有翻轉結構，所述翻轉結構包括連接板、固定板、石英管，轉動軸、轉盤、連桿和轉輪，所述密封蓋的內部設有所述連接板，所述連接板的側面固定連接有所述固定板，所述固定板的內壁轉動連接有所述石英管，所述轉動軸貫穿并與所述固定板和所述連接板之間轉動連接，所述轉動軸的一端與所述石英管固定連接，所述轉動軸的另一端固定連接有所述轉盤，所述連接板的內壁轉動連接有所述轉輪，所述連桿的兩端分別轉動連接于所述轉輪和所述轉盤上，所述密封蓋上設有驅動結構，所述驅動結構連接于所述轉輪，所述干燥瓶上設有導熱結構，所述導熱結構連接于所述連接板。

優選的，為了便于驅動石英管沿著徑向往復轉動，從而使氧化鎵粉末在石英管內均勻分布受熱干燥，所述驅動結構包括轉動桿、第一齒輪、第二齒輪和轉軸，所述轉動桿貫穿并與所述密封蓋和所述連接板之間轉動連接，所述轉動桿遠離所述密封蓋的一端轉動連接有所述第一齒輪，所述連接板的內壁轉連接有所述轉軸，所述轉軸與所述轉動桿垂直，所述轉軸靠近所述第一齒輪的一端固定連接有所述第二齒輪，所述第一齒輪與所述第二齒輪之間嚙合，所述轉軸遠離所述第二齒輪的一端與所述轉輪之間固定連接。

優選的，為了便于使轉動轉動桿更加省力，所述第一齒輪的直徑小于第二齒輪的直徑。

優選的，為了便于使轉動轉動桿更加方便，所述轉動桿的一端截面為正八邊形。

優選的，為了便于使熱量傳遞至連接板和石英管上，所述導熱結構包括導熱板和連接彈簧，所述干燥瓶的內壁滾動連接有所述導熱板，所述導熱板和所述連接板之間滑動連接，所述連接彈簧的兩端分別固定于所述導熱板和所述連接板上。

優選的，為了便于提高氧化鎵粉末的干燥效率，所述加熱座的側面設有抽氣結構，所述抽氣結構包括抽氣機本體和進氣管，所述抽氣機本體位于所述加熱座的側面，所述抽氣機本體上設有兩個所述進氣管，兩個所述進氣管分別貫穿所述加熱座并連接于所述干燥瓶的底部和貫穿所述密封蓋的頂部并與所述石英管之間連通。