[實用新型]一種橢偏測量初始入射角校準裝置

有效

• 申請號: 202121597359.3
• 申請日: 2021-07-14
• 公開（公告）號: CN215177566U
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 李琪;李適;李偉;黃鷺;施玉書;黎雄威;高思田
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/01;G01N21/21
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 孫玲

本實用新型公開了一種橢偏測量初始入射角校準裝置，包括平移裝置、第一俯仰調節裝置、第二俯仰調節裝置和中間調節裝置。平移裝置包括平移平臺、CCD相機和遠心鏡頭，遠心鏡頭可拆卸式安裝于CCD相機上，CCD相機在平移平臺上平移；第一俯仰調節裝置包括第一俯仰偏擺調節平臺和安裝于第一俯仰偏擺調節平臺上的自準直儀；第二俯仰調節裝置包括第二俯仰偏擺調節平臺和安裝于第二俯仰偏擺調節平臺上的穩頻激光器；中間調節裝置包括位置調節平臺和安裝于位置調節平臺上的五棱鏡。相比于現有技術，本實用新型能夠實現自準直儀光軸與CCD相機運動軸成90°，穩頻激光器光軸與CCD相機運動軸成180°，從而完成橢偏測量初始90°入射角的校準。

技術領域

本實用新型涉及橢偏測量技術領域，特別是涉及一種橢偏測量初始入射角校準裝置。

背景技術

目前，橢偏測量廣泛應用于集成電路產業的微納薄膜測量，通過橢偏測量能夠獲得被測樣品的光學常數(膜厚、折射率等)，因此在集成電路領域發揮著重要的作用。隨著半導體工藝節點的不斷減小，對橢偏測量的準確性要求也越來越高。橢偏測量的入射角作為膜厚計算數學模型中的常量，其準確性直接影響最終測量結果。

當前應用于橢偏測量中入射角校準方法主要有人眼觀察以及反向擬合兩種方法。人眼觀察方法是通過一面反射鏡，將出射激光反射后，反射光光軸與入射光光軸重合，從而認定出射光與反射鏡鏡面成180°，此種方法對個人的調光路能力有較高要求，且由于光軸具有一定的直徑，光軸重合方法具有較大誤差；反向擬合方法主要是通過測量參數已知的標準膜厚片，然后反向計算此時的入射角，計算得出的入射角作為測量方位角，此種校準方法受限于被測標準樣片參數的準確性，且不能量化橢偏入射角。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種橢偏測量初始入射角校準裝置，實現自準直儀光軸與CCD相機運動軸成90°，穩頻激光器光軸與CCD相機運動軸成180°，從而完成橢偏測量初始90°入射角的校準。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

本實用新型公開了一種橢偏測量初始入射角校準裝置，包括：

平移裝置，所述平移裝置包括平移平臺、CCD相機和遠心鏡頭，所述遠心鏡頭可拆卸式安裝于所述CCD相機上，所述CCD相機在所述平移平臺上平移；

第一俯仰調節裝置，所述第一俯仰調節裝置包括第一俯仰偏擺調節平臺和安裝于所述第一俯仰偏擺調節平臺上的自準直儀；

第二俯仰調節裝置，所述第二俯仰調節裝置包括第二俯仰偏擺調節平臺和安裝于所述第二俯仰偏擺調節平臺上的穩頻激光器；

中間調節裝置，所述中間調節裝置包括位置調節平臺和安裝于所述位置調節平臺上的五棱鏡，所述五棱鏡能夠平行于以及垂直于所述CCD相機的平移方向平移；

所述CCD相機的平移方向同時平行于所述自準直儀軸線的俯仰旋轉平面和所述穩頻激光器軸線的俯仰旋轉平面。

優選地，還包括基座，所述平移平臺、所述第一俯仰偏擺調節平臺、所述第二俯仰偏擺調節平臺和所述位置調節平臺均安裝于所述基座上。

優選地，所述第一俯仰調節裝置還包括自準直儀安裝座，所述自準直儀安裝于所述自準直儀安裝座上，所述自準直儀安裝座安裝于所述第一俯仰偏擺調節平臺上。

優選地，所述第二俯仰調節裝置還包括穩頻激光器安裝座，所述穩頻激光器安裝于所述穩頻激光器安裝座上，所述穩頻激光器安裝座安裝于所述第二俯仰偏擺調節平臺上。

優選地，所述位置調節平臺為二維運動平臺，所述位置調節平臺的兩個運動方向分別平行于以及垂直于所述自準直儀軸線的方向。

本實用新型相對于現有技術取得了以下技術效果：