[實用新型]一種單晶爐拉晶防掉棒裝置有效
| 申請號: | 202121444691.6 | 申請日: | 2021-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN215517730U | 公開(公告)日: | 2022-01-14 |
| 發明(設計)人: | 張燕輝 | 申請(專利權)人: | 內蒙古華耀光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 010000 內蒙古自治區呼和浩特*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐拉晶防掉棒 裝置 | ||
1.一種單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:包括
連接構件(1),用于與單晶爐的上軸重錘(5)相連接;
夾持機構(2),與所述連接構件(1)相鉸接,用于在晶棒(6)的凹環(61)處對晶棒(6)進行夾持。
2.根據權利要求1所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述夾持機構(2)包括與所述連接構件(1)相鉸接的夾持臂(21)及固定連接在所述夾持臂(21)上的夾持抱爪(22),所述夾持抱爪(22)用于在晶棒凹環(61)處夾持住所述晶棒(6)。
3.根據權利要求2所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述夾持機構(2)還包括與連接構件(1)及夾持臂(21)相連接的驅動件(23),所述驅動件(23)能夠驅動夾持抱爪(22)夾持或者松開晶棒(6)。
4.根據權利要求3所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述驅動件(23)為液壓桿,所述液壓桿的一端與連接構件(1)相連,另一端與夾持臂(21)相連。
5.根據權利要求2所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述夾持機構(2)包括兩個所述夾持臂(21)及兩個分別與所述夾持臂(21)相連接的夾持抱爪(22)。
6.根據權利要求3所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述防掉棒裝置還包括稱重傳感器(3),所述稱重傳感器(3)用于稱取晶棒(6)重量。
7.根據權利要求6所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述防掉棒裝置還包括與所述稱重傳感器(3)及與所述驅動件(23)相連接的控制器(4),所述控制器(4)用于接收所述稱重傳感器(3)發送的重量檢測信號,并在檢測到的晶棒(6)重量超過預設值時控制所述驅動件(23)驅動所述夾持抱爪(22)夾持住所述晶棒(6)。
8.根據權利要求7所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:晶棒(6)重量的預設值為200kg。
9.根據權利要求2所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述連接構件(1)為連接桿,連接桿的一端與上軸重錘的上部相連接,另一端與所述夾持臂(21)的頂端相鉸接。
10.根據權利要求2所述的單晶爐拉晶防掉棒裝置,其特征在于:所述夾持抱爪(22)材質為四氟材料。
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