[實(shí)用新型]一種硅片自動(dòng)清洗機(jī)的機(jī)械手提籃防撞控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202121433469.6
• 申請(qǐng)日: 2021-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN215220667U
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于成山;甘勇;周彬;何晶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京國(guó)盛電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張弛

本實(shí)用新型公開了一種硅片自動(dòng)清洗機(jī)的機(jī)械手提籃防撞控制裝置，用于使用提籃方式的硅片自動(dòng)清洗機(jī)的機(jī)械手在沒(méi)有正確卸載提籃時(shí)可以被檢測(cè)到報(bào)警并觸發(fā)機(jī)械手暫停的檢測(cè)控制裝置，實(shí)現(xiàn)清洗機(jī)利用控制系統(tǒng)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)械手提籃是否正確卸載，避免機(jī)械手的提籃沒(méi)有正常卸載時(shí)繼續(xù)自動(dòng)運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料制造的清洗設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，是關(guān)于一種自動(dòng)清洗機(jī)的機(jī)械手偏差導(dǎo)致提籃沒(méi)有正常卸載的自動(dòng)檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

在20世紀(jì)50年代初期人們就開始高度重視半導(dǎo)體工業(yè)中的硅片清洗，因?yàn)楣杵砻娴奈廴疚飼?huì)嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的可靠性、性能和良率。隨著集成電路由大規(guī)模向超大規(guī)模(VLSI)和甚大規(guī)模(ULSI)發(fā)展，對(duì)硅片表面質(zhì)量的要求也就越來(lái)越嚴(yán)格，硅片清洗成為半導(dǎo)體器件制造中最重要的步驟。隨著清洗技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步，硅片清洗設(shè)備的研發(fā)和創(chuàng)新工作獲得了長(zhǎng)足的發(fā)展。但一些20世紀(jì)80/90年代的自動(dòng)清洗設(shè)備，采用早期的工業(yè)控制方式和簡(jiǎn)易技術(shù)實(shí)現(xiàn)了硅片全自動(dòng)清洗方式，但對(duì)硅片運(yùn)行過(guò)程的監(jiān)測(cè)不足。由于使用時(shí)間較長(zhǎng)，機(jī)械零部件老化和磨損情況，導(dǎo)致機(jī)械手(Robot)運(yùn)行精度誤差變大，采取提籃方式運(yùn)載硅片清洗時(shí)，機(jī)械手勾爪抓取提籃方式，機(jī)械手勾爪中有一個(gè)傳感器與主機(jī)控制信號(hào)連接，但主機(jī)控制系統(tǒng)僅控制機(jī)械手Load和一次Unload動(dòng)作。機(jī)械手進(jìn)行Load動(dòng)作時(shí)，機(jī)械手水平移動(dòng)到目標(biāo)提籃位置上方，經(jīng)下降、平移、上升過(guò)程，上升過(guò)程時(shí)提籃在機(jī)械手勾爪中并壓在傳感器上時(shí)設(shè)備信號(hào)系統(tǒng)默認(rèn)提籃已取到；機(jī)械手進(jìn)行Unload動(dòng)作時(shí)，機(jī)械手勾爪抓取提籃水平平移到目標(biāo)清洗槽位置上方，經(jīng)下降、平移、上升過(guò)程，下降過(guò)程時(shí)提籃的底部與清洗槽底座卡槽接觸并固定在槽中，機(jī)械手繼續(xù)下移時(shí)，提籃脫離勾爪中傳感器，傳感器恢復(fù)空載狀態(tài)，設(shè)備信號(hào)系統(tǒng)默認(rèn)提籃已釋放，機(jī)械手繼續(xù)自動(dòng)平移和上升到水平位置。但是如果機(jī)械手運(yùn)行控制精度有偏差，當(dāng)機(jī)械手勾爪釋放提籃無(wú)法精準(zhǔn)定位將提籃放在清洗槽底座的卡槽中時(shí)，提籃底部沒(méi)有被固定會(huì)出現(xiàn)傾斜，這時(shí)因提籃已脫離勾爪中傳感器，設(shè)備信號(hào)系統(tǒng)默認(rèn)機(jī)械手為空載狀態(tài)繼續(xù)平移和上升，當(dāng)提籃因傾斜仍在機(jī)械手勾爪中時(shí)，機(jī)械手上升過(guò)程會(huì)將提籃非正常抓取起來(lái)到水平位置，而設(shè)備信號(hào)系統(tǒng)仍默認(rèn)為機(jī)械手為空載狀態(tài)不會(huì)出現(xiàn)系統(tǒng)報(bào)警，機(jī)械手繼續(xù)自動(dòng)執(zhí)行下一次動(dòng)作。這時(shí)，機(jī)械手上提籃因懸空可能會(huì)出現(xiàn)掉落，機(jī)械手執(zhí)行下一次Load動(dòng)作時(shí)，會(huì)擠壓和碰撞到清洗槽中的提籃，造成硅片碎裂，嚴(yán)重情況造成清洗槽破裂和機(jī)械手損傷變形，甚至導(dǎo)致電機(jī)過(guò)流或燒電機(jī)。因設(shè)備控制系統(tǒng)軟件無(wú)法修改代碼，升級(jí)困難，如何監(jiān)測(cè)清洗機(jī)機(jī)械手空載狀態(tài)時(shí)有提籃情況是自動(dòng)清洗過(guò)程待解決的技術(shù)問(wèn)題。

故，需要一種新的技術(shù)方案以解決上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗機(jī)的機(jī)械手提籃防撞控制裝置，解決清洗機(jī)自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程中機(jī)械手在沒(méi)有正確卸載提籃時(shí)可以被檢測(cè)到報(bào)警并觸發(fā)機(jī)械手暫停的檢測(cè)控制裝置。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種硅片自動(dòng)清洗機(jī)的機(jī)械手提籃防撞控制裝置，包括清洗槽、提籃，其特征在于，所述清洗槽上設(shè)有第一光電傳感器及第二光電傳感器，所述第一光電傳感器用以感應(yīng)清洗槽中提籃的正確位置；第二光電傳感器感應(yīng)清洗槽中提籃傾斜的位置；第一光電傳感器及第二光電傳感器信號(hào)線串聯(lián)在一起并連接同一個(gè)繼電器；所述繼電器連接報(bào)警器；當(dāng)?shù)谝还怆妭鞲衅骷暗诙怆妭鞲衅魍瑫r(shí)感應(yīng)到提籃時(shí)，繼電器接通報(bào)警器工作。

進(jìn)一步的，提籃位于清洗槽正確位置時(shí)，第一光電傳感器面對(duì)提籃的端面，第二光電傳感器面對(duì)提籃外側(cè)面與清洗槽內(nèi)側(cè)面之間的間隙。

進(jìn)一步的，所述繼電器為2P繼電器，報(bào)警器包括聲光報(bào)警器和設(shè)備系統(tǒng)報(bào)警器，該2P繼電器一路連接控制聲光報(bào)警器，一路連接控制設(shè)備系統(tǒng)報(bào)警器。

進(jìn)一步的，還包括24V電源模塊提供電路電源。

進(jìn)一步的，所述第一光電傳感器檢測(cè)清洗提籃在清洗槽中的正確放置位置，第二光電傳感器檢測(cè)清洗提籃偏離正確位置。