[實(shí)用新型]用于MOCVD中的并聯(lián)過濾器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121315132.5
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN214861913U
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫飛
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州尚勤光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/00
• 分類號(hào): B01D46/00
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32260
• 代理人: 顧品熒

本實(shí)用新型公開了一種用于MOCVD中的并聯(lián)過濾器，包括尾氣進(jìn)氣管路，所述尾氣進(jìn)氣管路一端與MOCVD連接，另一端與兩個(gè)并聯(lián)支路連接，兩個(gè)所述并聯(lián)支路上分別可拆卸設(shè)置有第一并聯(lián)過濾器和第二并聯(lián)過濾器且兩個(gè)并聯(lián)支路上均設(shè)置有多個(gè)隔離閥，兩個(gè)所述并聯(lián)支路另一端均與二級(jí)過濾管路連接，所述二級(jí)過濾管路與二級(jí)過濾器連接，所述二級(jí)過濾器與尾氣出氣管路連接，所述第一并聯(lián)過濾器和第二并聯(lián)過濾器的過濾精度均大于二級(jí)過濾器的過濾精度且二級(jí)過濾器的過濾精度且小于20um，有效提高過濾精度和工作效率的同時(shí)延長了泵的維護(hù)保養(yǎng)周期。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣相沉積領(lǐng)域，尤其涉及用于MOCVD中的并聯(lián)過濾器。

背景技術(shù)

MOCVD(Metal－Organic Chemical Vapor Deposition)是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種化學(xué)氣相外延沉積工藝。它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長的源材料，以熱分解反應(yīng)方式在石墨盤上進(jìn)行沉積工藝，生長各種Ⅲ－V族、Ⅱ－Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

MOCVD(金屬有機(jī)源化學(xué)氣相沉積設(shè)備)的尾氣中含有大量的碳粉、氮化鎵、金屬鎵和鋁等物質(zhì)，這些物質(zhì)若進(jìn)入后端的真空泵，極易導(dǎo)致泵的轉(zhuǎn)子卡死，現(xiàn)有的設(shè)備在泵的前端增加了過濾器，用以吸附尾氣中的碳粉、氮化鎵等雜質(zhì)，其缺點(diǎn)是：

1、需要經(jīng)常更換過濾器(過濾器飽和后，設(shè)備無法使用)，而更換過濾器時(shí)，設(shè)備就進(jìn)入待機(jī)維護(hù)模式，無法繼續(xù)生產(chǎn)，耽誤時(shí)間；

2、過濾器中的濾芯(通常為玻璃纖維紙)，其過濾精度為20um，因此，直徑小于20um的顆粒將穿透濾芯，直接進(jìn)入到泵體里面，也會(huì)影響泵體的使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服上述缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種有效提高過濾精度和工作效率的同時(shí)延長了泵的維護(hù)保養(yǎng)周期的用于MOCVD中的并聯(lián)過濾器。

為了達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于MOCVD中的并聯(lián)過濾器，包括尾氣進(jìn)氣管路，所述尾氣進(jìn)氣管路一端與MOCVD連接，另一端與兩個(gè)并聯(lián)支路連接，兩個(gè)所述并聯(lián)支路上分別可拆卸設(shè)置有第一并聯(lián)過濾器和第二并聯(lián)過濾器且兩個(gè)并聯(lián)支路上均設(shè)置有多個(gè)隔離閥，兩個(gè)所述并聯(lián)支路另一端均與二級(jí)過濾管路連接，所述二級(jí)過濾管路與二級(jí)過濾器連接，所述二級(jí)過濾器與尾氣出氣管路連接，所述第一并聯(lián)過濾器和第二并聯(lián)過濾器的過濾精度均大于二級(jí)過濾器的過濾精度且二級(jí)過濾器的過濾精度且小于20um，有效提高過濾精度和工作效率的同時(shí)延長了泵的維護(hù)保養(yǎng)周期。

進(jìn)一步地，所述第一并聯(lián)過濾器和第二并聯(lián)過濾器的過濾精度均為20um。

進(jìn)一步地，所述二級(jí)過濾器的過濾精度為5-10um。

進(jìn)一步地，所述第一并聯(lián)過濾器位于的并聯(lián)支路上設(shè)置有四個(gè)隔離閥，四個(gè)所述隔離閥分別為第一隔離手閥、第二隔離手閥、第五隔離手閥和第六隔離手閥，所述第一隔離手閥和第二隔離手閥位于尾氣進(jìn)氣管路和第一并聯(lián)過濾器之間，所述第五隔離手閥和第六隔離手閥位于第一并聯(lián)過濾器和二級(jí)過濾管路之間。

進(jìn)一步地，所述第二并聯(lián)過濾器位于的并聯(lián)支路上設(shè)置有四個(gè)隔離閥，四個(gè)所述隔離閥分別為第三隔離手閥、第四隔離手閥、第七隔離手閥和第八隔離手閥，所述第三隔離手閥和第四隔離手閥位于尾氣進(jìn)氣管路和第二并聯(lián)過濾器之間，所述第七隔離手閥和第八隔離手閥位于第二并聯(lián)過濾器和二級(jí)過濾管路之間。

進(jìn)一步地，所述尾氣進(jìn)氣管路采用KF40管路或KF50管路。

進(jìn)一步地，所述尾氣出氣管路采用KF40管路或KF50管路。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：