[實用新型]一種易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器

有效

• 申請號: 202121176383.X
• 申請日: 2021-05-28
• 公開（公告）號: CN216846069U
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 張華建
• 申請（專利權）人: 薩妮精密儀器(上海)有限公司
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 南通一恒專利商標代理事務所(普通合伙) 32553
• 代理人: 梁金娟

1.一種易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，包括電容定極板和電容極板座，所述電容極板座是由兩個哈夫結構組裝而成的外方內圓的長方體，所述電容極板座的內圓壁上沿長度方向間隔設置有3個半圓形的安裝槽，所述安裝槽與電容極板座的內圓同軸且安裝槽的半徑大于電容極板座的內圓半徑，每一所述安裝槽內嵌裝一橡皮圈，每相鄰的兩個橡皮圈之間安裝一個電容定極板，所述電容定極板為圓柱筒，兩個所述電容定極板與電容極板座的內圓同軸。

2.根據權利要求1所述的易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，還包括電容動極板、測量桿和彈簧，所述電容極板座的右側連接有彈簧安裝座，所述彈簧安裝座的內部開設有圓形的彈簧安裝腔，所述彈簧安裝腔與半圓形凹槽連通且同軸，所述電容動極板同軸滑設于電容定極板內側，所述電容動極板的右端絕緣連接有測量桿，所述測量桿向右依次穿過半圓形凹槽和彈簧安裝腔后伸出，所述彈簧安裝于彈簧安裝腔內且套于測量桿的外側；

所述電容極板座的外側設有印刷電路板，所述電容定極板、電容動極板和測量桿均與印刷電路板電性連接。

3.根據權利要求2所述的易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，所述印刷電路板上焊接有彈性探針，兩個所述電容定極板與彈性探針觸接。

4.根據權利要求2所述的易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，所述電容動極板和測量桿上均設有引線與印刷電路板焊接。

5.根據權利要求1所述的易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，所述橡皮圈的厚度為0.5mm。

6.根據權利要求2所述的易于組裝的0.01μm高精度位移傳感器，其特征在于，所述電容動極板為圓柱筒，所述測量桿的左端設有一圓盤，所述圓盤通過尼龍螺釘與電容動極板的右端固定連接，所述圓盤與電容動極板之間設有絕緣層。