[實用新型]一種套料鉆

有效

• 申請號: 202121119076.8
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN215432823U
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 孔帥斐;李和鑫;張敏捷
• 申請（專利權）人: 富耐克超硬材料股份有限公司
• 主分類號: B24B3/24
• 分類號: B24B3/24;B24B41/04;B24B55/02
• 代理公司: 鄭州睿信知識產權代理有限公司 41119
• 代理人: 鄭英飛

本實用新型涉及一種套料鉆，套料鉆包括基體，基體為管狀結構，基體前端沿周向間隔均布有多個刀頭；基體前端端面設有水槽；套料鉆還包括固設于所述水槽內的修磨塊，且修磨塊與所述刀頭在基體的軸向上連續布置，或者修磨塊與所述刀頭在基體的軸向上有重疊部分，所述修磨塊具有朝內凸出于所述刀頭的內側面布置的內突出部分，所述內突出部分用于在棒芯進入基體時對棒芯進行修磨以使棒芯縮徑；和/或所述修磨塊具有朝外凸出于所述刀頭的外側面布置的外突出部分，所述外突出部分用于在鉆取棒芯時對物體的鉆孔進行擴孔處理。修磨塊依托于水槽布置，能夠有效利用已有的結構，而且在工作時流經水槽的冷卻液也能夠對修磨塊進行冷卻降溫。

技術領域

本實用新型涉及一種套料鉆。

背景技術

單晶碳化硅作為第三代半導體材料，從晶錠中掏出合格的晶棒是制備碳化硅襯底的重要因素之一。為在晶錠上掏出晶棒，需要用到套料鉆，套料鉆又稱為環孔鉆，通常包括管狀的基體，基體的前端固定安裝有或者一體成型有多個刀頭，刀頭繞基體的軸線間隔均布。基體上對應于任意相鄰兩刀頭之間的間隔開設有水槽，水槽能夠供冷卻液和碎屑通過，提高排屑和冷卻效果。

常規的套料鉆存在的問題在于：刀頭內側面與基體內周面基本保持平齊，刀頭外側面與基體外周面基本保持平齊，刀頭在物體（如晶錠）上鉆出棒芯（如晶棒）后，棒芯進入基體內，在套料鉆工作時，刀頭內側面與基體的相接處不斷被棒芯磨損，刀頭外側面與基體的相接處不斷被物體默算，導致刀頭易由基體上脫落，導致套料鉆無法繼續使用，縮短其使用壽命。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種套料鉆，以解決現有技術中基體與刀頭相接處易被磨損而導致使用壽命較短的技術問題。

為實現上述目的，本實用新型所提供的套料鉆的技術方案是：一種套料鉆，包括：

基體，管狀結構，基體前端沿周向間隔均布有多個刀頭；

水槽，設于基體的前端端面上且位于任意相鄰兩刀頭之間；

套料鉆還包括：

修磨塊，固設于所述水槽內，且修磨塊與所述刀頭在基體的軸向上連續布置，或者修磨塊與所述刀頭在基體的軸向上有重疊部分，所述修磨塊具有朝內凸出于所述刀頭的內側面布置的內突出部分，所述內突出部分用于在棒芯進入基體時對棒芯進行修磨以使棒芯縮徑；

和/或所述修磨塊具有朝外凸出于所述刀頭的外側面布置的外突出部分，所述外突出部分用于在鉆取棒芯時對物體的鉆孔進行擴孔處理。

有益效果：通過在水槽內固定修磨塊，棒芯進入到基體之后，修磨塊上的內突出部分會對棒芯進行修磨，以對棒芯進行縮徑處理，縮徑后的棒芯由于外徑較小，無法與基體進行磨損，從而防止基體中與刀頭相接的位置出現過大磨損而使刀頭掉落的情況。修磨塊上的外突出部分能夠對鉆孔進行擴孔處理，防止鉆孔的孔壁磨損刀頭和基體的相接處。修磨塊依托于水槽布置，能夠有效利用已有的結構，而且在工作時流經水槽的冷卻液也能夠對修磨塊進行冷卻降溫。

優選地，各所述水槽中均固設有所述修磨塊。

優選地，各所述修磨塊均具有所述內突出部分和所述外突出部分，或者內突出部分、外突出部分分置于不同的所述修磨塊上。

優選地，所述水槽具有朝前布置的槽底，所述修磨塊與槽底之間具有間隔。間隔處供冷卻液通過，防止因增加修磨塊而影響冷卻液的正常流動。

優選地，所述刀頭的內側面和/或外側面上設有連通基體內外的凹形流道，凹形流道供碎屑及冷卻液通過。凹形流道提高排屑和冷卻效果。

優選地，所述凹形流道包括交叉分布的兩個傾斜流道。

附圖說明

圖1為本實用新型所提供的套料鉆實施例1的立體圖；

圖2為圖1中A處的放大圖；