[實(shí)用新型]一種可重構(gòu)積分減法電路實(shí)現(xiàn)的射頻電源輸出控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121010725.0
• 申請日: 2021-05-12
• 公開（公告）號: CN214799303U
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁瑛
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州科中方源電子科技有限公司
• 主分類號: H02M3/335
• 分類號: H02M3/335;H02M1/14
• 代理公司: 上海科盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 趙繼明

本實(shí)用新型涉及一種可重構(gòu)積分減法電路實(shí)現(xiàn)的射頻電源輸出控制裝置，包括：射頻信號放大模塊；第一可調(diào)電源模塊，連接至射頻信號放大模塊的輸入端；減法器?積分器主體模塊和用于控制減法器?積分器主體模塊工作于減法器狀態(tài)或積分器狀態(tài)的切換控制模塊；切換控制模塊包括繼電器，減法器?積分器主體模塊包括運(yùn)算放大器、切換電阻和積分器電容，通過繼電器控制切換電阻接入，運(yùn)算放大器工作于減法器狀態(tài)，反之運(yùn)算放大器工作于積分器狀態(tài)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過繼電器實(shí)現(xiàn)切換電阻的接入或斷開，從而切換運(yùn)算放大器在積分器狀態(tài)和減法器狀態(tài)互相切換，以此保證運(yùn)算放大器輸出信號滿足需求，控制輸出信號上升沿時(shí)間，保證信號輸出曲線平滑上升。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及射頻電源，尤其是涉及一種可重構(gòu)積分減法電路實(shí)現(xiàn)的射頻電源輸出控制裝置。

背景技術(shù)

射頻電源是一種特殊電源，廣泛應(yīng)用于等離子行業(yè)。目前市場上的射頻電源大多數(shù)存在工作壽命短，需要頻繁修理更換器件，其原因在于射頻電源開機(jī)時(shí)，存在過沖現(xiàn)象，瞬間功率極高，同時(shí)匹配器未能及時(shí)工作，導(dǎo)致瞬間反射功率過大，經(jīng)過多次長時(shí)間運(yùn)行后，難免造成射頻源損壞。過沖現(xiàn)象本質(zhì)是由于內(nèi)部控制信號處理不當(dāng)，在開機(jī)時(shí)有瞬間大電壓，目前該問題是射頻電源行業(yè)急需解決的。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是為了提供一種可重構(gòu)積分減法電路實(shí)現(xiàn)的射頻電源輸出控制裝置，通過繼電器實(shí)現(xiàn)切換電阻的接入或斷開，從而切換運(yùn)算放大器在積分器狀態(tài)和減法器狀態(tài)互相切換，以此保證運(yùn)算放大器輸出信號滿足需求，控制輸出信號上升沿時(shí)間，保證信號輸出曲線平滑上升。

本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種可重構(gòu)積分減法電路實(shí)現(xiàn)的射頻電源輸出控制裝置，包括：

射頻信號放大模塊；

第一可調(diào)電源模塊，連接至射頻信號放大模塊的輸入端；

減法器-積分器主體模塊和用于控制減法器-積分器主體模塊工作于減法器狀態(tài)或積分器狀態(tài)的切換控制模塊；

所述切換控制模塊包括繼電器，所述減法器-積分器主體模塊包括運(yùn)算放大器、切換電阻和積分器電容，所述繼電器的線圈連接至射頻信號放大模塊，第一組觸點(diǎn)的公共端連接至運(yùn)算放大器的正相輸入端，常閉端接地，常開端連接至第三電源的正極，第二組觸點(diǎn)的公共端通過切換電阻連接至運(yùn)算放大器的輸出端，常閉端連接至運(yùn)算放大器的反相輸入端，并通過積分器電容連接至運(yùn)算放大器的輸出端，當(dāng)常閉端導(dǎo)通時(shí)，切換電阻接入，運(yùn)算放大器工作于減法器狀態(tài)，反之運(yùn)算放大器工作于積分器狀態(tài)。

所述切換控制模塊還包括第二三極管和第三三極管，所述第二三極管的發(fā)射極連接至第四電源的正極，基極連接至射頻信號放大模塊的輸出端，集電極連接至第三三極管的基極，所述第三三極管的發(fā)射極接地，集電極連接至繼電器的線圈的一端，所述繼電器的線圈的另一端連接至第五電源的正極。

所述切換控制模塊還包括指示燈，所述指示燈的正極連接至第五電源的正極，負(fù)極連接至第三三極管的集電極。

所述切換控制模塊還包括第十三二極管，所述第十三二極管的正極連接至第三三極管的集電極，負(fù)極連接至第五電源的正極。

所述射頻信號放大模塊包括第一三極管，所述第一三極管的基極連接至運(yùn)算放大器的輸出端，集電極連接至第一可調(diào)電源模塊的輸出端。

所述第一三極管的基極和運(yùn)算放大器的輸出端之間設(shè)有保護(hù)電阻。

所述裝置還包括反射過大抑制模塊和第二可調(diào)電源模塊，所述第二可調(diào)電源模塊連接至反射過大抑制模塊，所述反射過大抑制模塊連接至運(yùn)算放大器。

所述指示燈為發(fā)光二極管。

所述第四電源的電壓為5V。

所述第三電源的電壓小于4V。