[實用新型]一種單晶硅空心微針結構

有效

• 申請號: 202120993464.2
• 申請日: 2021-05-11
• 公開（公告）號: CN218420647U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 俞驍;王新國
• 申請（專利權）人: 蘇州攬芯微納科技有限公司
• 主分類號: A61M37/00
• 分類號: A61M37/00;G03F7/16;G03F7/20
• 代理公司: 北京精金石知識產權代理有限公司 11470
• 代理人: 楊蘭蘭

1.一種單晶硅空心微針結構，其特征在于，由一個(100)型硅片加工而成；

所述單晶硅空心微針結構包括兩個部分，分別為A部分和B部分，所述B部分與A部分一體連接；

所述A部分包括第一面、第二面和第三面，所述A部分具有貫穿第一面和第三面的貫穿孔，所述第一面和第二面為側面，所述第三面為底面，所述第三面與所述B部分的上表面一體連接；

第一面與第三面連接，二者之間具有傾角；第一面的第一邊界線與第二面的第一邊界線連接，二者交接處為弧線，第一面的第二邊界線與第三面連接，二者交接處為直線，第二面垂直于第三面，第二面的第二邊界線與第三面連接，二者交界線為弧形；

所述A部分的貫穿孔的軸線垂直于所述第三面；所述A部分的貫穿孔的內表面及第一面、第二面和第三面具有親水性保護膜；

所述B部分整體為長方體或正方體；所述B部分中間具有貫穿槽，所述貫穿槽為倒四棱臺凹槽；

所述B部分的貫穿槽的第一敞開口端與A部分連接，所述B部分的貫穿槽的第二敞開口端位于所述B部分的底面；所述第一敞開口端比第二敞開口端的橫截面積?。?/p>

所述貫穿槽的側壁與B部分的底面具有角度；

所述A部分的貫穿孔的軸線穿過所述B部分的第一敞開口端和第二敞開口端。

2.根據權利要求1所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述B部分的貫穿槽的側壁與所述B部分的底面之間的角度為53.74°-55.74°。

3.根據權利要求1所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述B部分的所述貫穿槽與所述A部分的貫穿孔同軸。

4.根據權利要求3所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿孔與第三面的交接線為圓形。

5.根據權利要求4所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿槽的橫截面為正方形，正方形的邊長沿B部分的110晶向。

6.根據權利要求5所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿槽的橫截面的正方形邊長比所述貫穿孔與第三面的交接線的圓形的直徑大。

7.根據權利要求6所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述硅片厚度t1為1mm，所述A部分的頂端到B部分的底面之間的距離為1mm。

8.根據權利要求7所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿孔的橫截面為直徑為75um的圓形。

9.根據權利要求7所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿孔的頂端到所述第三面的距離t2為500um。

10.根據權利要求7所述的單晶硅空心微針結構，其特征在于，所述貫穿槽橫截面為邊長為440um的正方形。