[實用新型]一種直立石墨烯薄膜附著力的檢測裝置

有效

• 申請號: 202120829110.4
• 申請日: 2021-04-21
• 公開（公告）號: CN215179555U
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 丁顯波;趙鑫;李笑笑;鐘西舟
• 申請（專利權）人: 深圳市溢鑫科技研發有限公司
• 主分類號: G01N19/04
• 分類號: G01N19/04
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 劉曰瑩;彭濤

1.一種直立石墨烯薄膜附著力的檢測裝置，其特征在于，包括一操作平臺，所述操作平臺上設置有：吹氣機構、驅動機構和一移動樣品臺，所述吹氣機構包括：吹氣筒、吹氣針和吹氣管道，所述吹氣筒頂部與所述吹氣管道密封連接，底部與所述吹氣針密封連接，所述吹氣管道連接外部的氣源；所述驅動機構連接所述吹氣機構，驅動所述吹氣機構沿Z軸和X軸運動，所述移動樣品臺相對所述操作平臺沿Y軸運動。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述驅動機構包括：第一驅動器、第二驅動器、第一滑塊、第二滑塊和X軸滑軌，所述吹氣筒安裝于所述第一滑塊上，所述第一滑塊可滑動地連接于所述第二滑塊上，所述第二滑塊可滑動地連接至所述X軸滑軌上，所述第一驅動器的動力輸出端連接至所述第一滑塊，所述第二驅動器的動力輸出端連接至所述第二滑塊。

3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述第二滑塊上設有Z軸滑軌，所述第一滑塊嵌于所述Z軸滑軌內，并在所述第一驅動器的驅動下沿所述Z軸滑軌滑動。

4.根據權利要求2或3所述的檢測裝置，其特征在于，所述X軸滑軌通過兩支架固定于所示操作平臺上方。

5.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述操作平臺上設有Y軸滑軌，所述移動樣品臺底部對應所述Y軸滑軌設有第三滑塊。

6.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括一氣壓調節閥，所述氣壓調節閥設于氣源和所述吹氣筒之間。

7.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括一第三驅動器，所述第三驅動器的動力輸出端連接至所述移動樣品臺上。

8.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括一計時裝置，所述計時裝置與氣源開關通信連接。

9.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述移動樣品臺上設有定位線。

10.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述移動樣品臺上還設有若干通孔，每一所述通孔連通于真空控制管道上。