[實用新型]具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120752942.0
• 申請日: 2021-04-14
• 公開（公告）號: CN214507402U
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設計）人: 佟輝;姜寰
• 申請（專利權）人: 沈陽中科漢達科技有限公司
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02;H05B1/00
• 代理公司: 沈陽鼎恒知識產權代理事務所(普通合伙) 21245
• 代理人: 段新穎

1.具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場，包括爐體外殼、布置于爐體外殼內部上部的上均溫區(qū)、布置于爐體外殼內部下部的下均溫區(qū)，其特征在于：所述上均溫區(qū)包括嵌裝于爐體外殼內壁中的多個上加熱模塊，相鄰兩個所述上加熱模塊之間、最上端上加熱模塊上表面與爐體外殼之間、最下端上加熱模塊下表面與爐體外殼之間均布置有上熱電偶，所述下均溫區(qū)包括嵌裝于爐體外殼內壁的多個下加熱模塊，相鄰兩個所述下加熱模塊之間、最上端下加熱模塊上表面與爐體外殼之間、最下端下加熱模塊下表面與爐體外殼之間均布置有下熱電偶，多個所述上加熱模塊、多個所述下加熱模塊連接有可調節(jié)功率的外部加熱電源，所述上均溫區(qū)與下均溫區(qū)之間還布置有散熱區(qū)，所述散熱區(qū)包括在爐體外殼內部開設的環(huán)形冷卻水通道，所述環(huán)形冷卻水通道上對向開設有冷卻水入口通道、冷卻水出口通道。

2.根據權利要求1所述的具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場，其特征在于：多個所述上加熱模塊、下加熱模塊均為三個電阻絲加熱模塊，三個上加熱模塊由上至下依次為上加熱模塊A、上加熱模塊B、上加熱模塊C，三個下加熱模塊由上至下依次為下加熱模塊A、下加熱模塊B、下加熱模塊C。

3.根據權利要求1所述的具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場，其特征在于：所述上熱電偶共為四個，四個上熱電偶由上至下依次為上熱電偶D、上熱電偶E、上熱電偶F、上熱電偶G。

4.根據權利要求1所述的具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場，其特征在于：所述下熱電偶共為四個，四個下熱電偶由上至下依次為下熱電偶D、下熱電偶E、下熱電偶F、下熱電偶G。

5.根據權利要求1所述的具有溫度梯度的雙均溫區(qū)氮化鎵熱場，其特征在于：所述上熱電偶、下熱電偶的測溫端分別伸入至對應上加熱模塊、下加熱模塊的內部。