[實用新型]MEMS振動傳感器

有效

• 申請號: 202120706035.2
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN214936041U
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: V·錢德拉塞克蘭;K·鄧
• 申請（專利權）人: 美商樓氏電子有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 付林;王小東

1.一種MEMS振動傳感器，其特征在于，所述MEMS振動傳感器包括：

基底；

錨，所述錨從所述基底延伸；以及

檢驗質量塊，所述檢驗質量塊由多個彈性結構從所述錨懸掛，其中，所述檢驗質量塊具有嵌入在該檢驗質量塊中的多個電氣隔離的金屬結構。

2.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述檢驗質量塊具有孔，所述多個彈性結構中的每一個在一端上附接到所述錨并且在另一端上附接到所述孔的邊緣。

3.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個是金屬柱。

4.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個延伸穿過所述檢驗質量塊的整個厚度。

5.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個從第一表面延伸到第二表面。

6.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個從所述檢驗質量塊的頂表面延伸，但不延伸穿過所述檢驗質量塊的整個厚度。

7.根據權利要求1所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述振動傳感器還包括金屬層，所述金屬層跨所述檢驗質量塊的頂表面延伸。

8.根據權利要求7所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個連接到所述金屬層。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述檢驗質量塊是硅材料的板，并且所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個被嵌入在所述硅材料內。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個由鎢制成。

11.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個由銅制成。

12.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個是未被連接且未被使用的硅通孔。

13.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個彈性結構中的每一個是彈簧。

14.一種MEMS振動傳感器，其特征在于，所述MEMS振動傳感器包括：

基底，所述基底具有凹陷部分；以及

檢驗質量塊，所述檢驗質量塊由多個彈性結構從所述凹陷部分的壁懸掛，其中，所述檢驗質量塊具有嵌入該檢驗質量塊中的多個電氣隔離的金屬結構。

15.根據權利要求14所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個是金屬柱。

16.根據權利要求14所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個延伸穿過所述檢驗質量塊的整個厚度。

17.根據權利要求14所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個從第一表面延伸到第二表面。

18.根據權利要求14所述的MEMS振動傳感器，其特征在于，所述多個電氣隔離的金屬結構中的每一個從所述檢驗質量塊的頂表面延伸，但不延伸穿過所述檢驗質量塊的整個厚度。