[實用新型]一種帶有緩沖吸振部件的載板

有效

• 申請號: 202120705411.6
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN215059146U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 楊與勝;賴禮銘;倪鵬玉;郭禮賢
• 申請（專利權）人: 福建金石能源有限公司
• 主分類號: F16F15/06
• 分類號: F16F15/06;F16F15/02;B65G13/00
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 張磊

本實用新型涉及一種帶有緩沖吸振部件的載板，它包括載板邊框以及固設在載板邊框兩側底部的一對輥輪接觸件，所述輥輪接觸件的兩端分設有懸臂，所述懸臂不與載板邊框相接觸且向上翹起。本實用新型的目的在于提供一種帶有緩沖吸振部件的載板，利用緩沖部件減小或消除載板在載板輸送過程中發生的振動。

技術領域

本實用新型涉及一種帶有緩沖吸振部件的載板。

背景技術

載板通常用于PECVD工序裝載基片(如硅片)，以便于傳送、加熱、鍍膜。載板的輸送傳遞是通過沿輸送方向設置的多個載板輸送輥輪來實現的。如圖1所示，由于輥輪的加工存在精度上的誤差及裝配上的差異，載板輸送輥輪和載板接觸點在豎直方向上存在高度差h情況,若下一個載板輸送輥輪5在豎直方向上高于前一個載板輸送輥輪4，載板向前移動接觸下一個載板輸送輥輪5，載板將在極短的時間內發生高度提升，而出現載板振動；另外，載板在通過載板輸送輥輪的輸送過程中，載板存在振動現象。因載板振動，載板上的半成品基片會出現放置位偏移，或者因振動造成破片、裂片，或者劃傷基片沉積層上的沉積物質。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種帶有緩沖吸振部件的載板，利用緩沖部件減小或消除載板在載板輸送過程中發生的振動。

本實用新型的目的通過如下技術方案實現：

一種帶有緩沖吸振部件的載板，它包括載板邊框以及固設在載板邊框兩側底部的一對輥輪接觸件，所述輥輪接觸件的兩端分設有懸臂，所述懸臂不與載板邊框相接觸且向上翹起。

較之現有技術而言，本實用新型的優點在于：

1、利用懸臂向上翹起形成的斜角以及懸臂的彈性，減小或消除載板在輸送的過程中的振動，降低產品的破片率，提高產品的合格率。

2、運用共振原理，通過懸臂固有共振頻率低的特點，削減載板的振動能量，降低載板的振動。

附圖說明

圖1為現有載板的工作示意圖。

圖2為載板的俯視簡圖。

圖3為一種帶有緩沖部件的載板一種實施例的結構簡圖。

圖4為圖3的I局部放大示意圖。

圖5為圖3所示實施例的工作狀態簡圖。

具體實施方式

下面結合說明書附圖和實施例對本實用新型內容進行詳細說明：

如圖3至圖5所示為本實用新型提供的一種帶有緩沖部件的載板的實施例示意圖。

一種帶有緩沖部件的載板，它包括載板邊框1以及固設在載板邊框1兩側底部的一對輥輪接觸件2，所述輥輪接觸件2的兩端分設有懸臂3，所述懸臂3不與載板邊框1相接觸且向上翹起。所述懸臂3可露出于載板邊框1外，或設于載板邊框1下。

所述輥輪接觸件2通過沉孔螺紋結構或焊接固定在載板邊框1底部。在一優選方案中，所述輥輪接觸件2通過沉孔螺釘6鎖緊固定在載板邊框1底部，便于拆裝維護、修理。

所述輥輪接觸件2為一體式結構，避免接縫等在經過載板輸送輥輪時出現振動。

所述輥輪接觸件2為金屬件，優選耐磨耐高溫且彈性較好的單一金屬或合金制成。

所述懸臂3設于載板邊框1下方；所述載板邊框1兩側端頭設有避讓懸臂的斜面；所述斜面的角度大于懸臂3向上翹起的角度。

在一具體實施方案中，如圖2所示，載板邊框1由首尾互連的載板橫撐11和載板縱撐12構成；載板橫撐11沿載板輸送方向延伸，與載板輸送輥輪4配合。輥輪接觸件2固設于載板橫撐11下表面。

以生產太陽能電池片為例，簡述本實用新型的工作原理如下：

當下一個載板輸送輥輪5較前一個載板輸送輥輪4高時，載板在向前移動的過程中，輥輪接觸件2的懸臂3接觸到下一個載板輸送輥輪5，由于懸臂3向上翹起，使得載板向前移動時在豎直方向上高度提升是個線性過程，且懸臂3作為一個自由端具有一定彈性也能起到緩沖減振作用。在這個過程中，載板上的半成品太陽能電池片的位置偏移量則較小或無位置偏移，則半成品太陽能電池片出現破片、裂片、刮傷、劃痕的情況則較小或無以上影響。同時，載板在輸送過程中存在的振動現象，安裝在載板下表面的輥輪接觸件2的兩端的懸臂3能削減載板的振動能量。懸臂3的固有的共振頻率低于載板的共振頻率，載板的振動能量傳遞到輥輪接觸件兩端的懸臂3引起懸臂3振動，從而消耗載板的振動能量，避免載板振動影響設備生產產品的良率。