[實(shí)用新型]一種離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202120654022.5 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN214472360U | 公開（公告）日： | 2021-10-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葉志強(qiáng);顧施凱;裘浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海西普瀚芯電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N3/08 | 分類號(hào)： | G01N3/08;H01J37/08 |
| 代理公司： | 上海秋冬專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31414 | 代理人： | 張?jiān)?/td> |
| 地址： | 201900 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 離子 注入 離子源 零部件 陰極 焊接 測(cè)試 裝置 | ||
1.一種離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置，包括蓋帽(1)、活塞(5)和壓力測(cè)試主體(6)，其特征在于，所述蓋帽(1)縱向卡嵌固定在壓力測(cè)試主體(6)頂部，蓋帽(1)和壓力測(cè)試主體(6)中部活動(dòng)安裝有活塞(5)，活塞(5)上端連接有用于向上頂出待測(cè)零件(10)的頂桿(4)，蓋帽(1)上端開設(shè)有用于固定待測(cè)零件(10)的螺紋通孔(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置，其特征在于，所述蓋帽(1)、螺紋通孔(3)、頂桿(4)、活塞(5)和壓力測(cè)試主體(6)均同軸設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置，其特征在于，所述蓋帽(1)下端固定連接有螺紋接頭(2)，蓋帽(1)通過螺紋接頭(2)與壓力測(cè)試主體(6)固定相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置，其特征在于，所述壓力測(cè)試主體(6)中部開設(shè)有活塞腔(7)，活塞(5)滑動(dòng)安裝在活塞腔(7)內(nèi)部，活塞(5)與活塞腔(7)間隙配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子注入機(jī)離子源零部件的鎢陰極焊接力測(cè)試裝置，其特征在于，所述頂桿(4)滑動(dòng)安裝在蓋帽(1)中部，頂桿(4)與蓋帽(1)間隙配合。
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