[實(shí)用新型]一種用于硅片自動(dòng)裝花籃的插片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120649658.0
• 申請(qǐng)日: 2021-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN214651982U
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐寒生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濟(jì)南晶博電子有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/07
• 分類號(hào): B65G49/07;B65G59/02;B65G65/32;B65G39/07;H01L21/677
• 代理公司: 濟(jì)南領(lǐng)升專利代理事務(wù)所(普通合伙) 37246
• 代理人: 王吉勇

本實(shí)用新型公開了一種用于硅片自動(dòng)裝花籃的插片機(jī)，涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，包括工作臺(tái)、和設(shè)置在工作臺(tái)上的的料桶和花籃，工作臺(tái)傾斜設(shè)置，料桶的位置高于花籃的位置，料桶的下端設(shè)有上推機(jī)構(gòu)，花籃通過花籃底座設(shè)置在工作臺(tái)面上，花籃底座的兩端滑動(dòng)設(shè)有導(dǎo)桿，花籃底座的底端設(shè)有齒條，齒條的頂端貫穿工作臺(tái)固定在花籃底座上，齒條通過齒輪傳動(dòng)，齒輪連接有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，料桶的頂端設(shè)有排料輪，排料輪通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)利用推動(dòng)花籃移動(dòng)的同時(shí)，旋轉(zhuǎn)排料輪把硅片裝入花籃，完成自動(dòng)分片裝入花籃的動(dòng)作，自動(dòng)裝藍(lán)的同時(shí)，有效避免了對(duì)硅片的污染和易碎的問題，有效提升了分片的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于硅片自動(dòng)裝花籃的插片機(jī)。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的技術(shù)中單晶硅通過線切、脫膠清洗及堿腐工序后，需要手動(dòng)作業(yè)將圓形硅片插入到硅片裝載裝置中，以便進(jìn)行下道清洗作業(yè)，手動(dòng)分片、插片會(huì)造成硅片污染，并且在作業(yè)中極易發(fā)生破片。半導(dǎo)體硅片對(duì)于表面的顆粒度有嚴(yán)格的要求，手動(dòng)作業(yè)產(chǎn)生的次生污染已不能適應(yīng)生產(chǎn)的需求，在工業(yè)發(fā)展迅速的大環(huán)境下，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，以及人員費(fèi)用的遞增，急需一種自動(dòng)的硅片插片機(jī)取代目前半導(dǎo)體圓形硅片手動(dòng)插片形式，以適應(yīng)工業(yè)發(fā)展趨勢(shì)。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足和缺陷，本實(shí)用新型提供了一種用于硅片自動(dòng)裝花籃的插片機(jī)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中手動(dòng)分片、插片對(duì)硅片造成污染、在作業(yè)中易碎片的問題，實(shí)現(xiàn)硅片插片的自動(dòng)化作業(yè)。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種用于硅片自動(dòng)裝花籃的插片機(jī)，其特征在于：包括工作臺(tái)、和設(shè)置在工作臺(tái)上的料桶和花籃，所述工作臺(tái)傾斜設(shè)置，所述料桶的位置高于所述花籃的位置，所述料桶的下端設(shè)有上推機(jī)構(gòu)，花籃通過花籃底座設(shè)置在工作臺(tái)面上，所述花籃底座的兩端滑動(dòng)設(shè)有導(dǎo)桿，花籃底座的底端設(shè)有齒條，所述齒條的頂端貫穿工作臺(tái)固定在花籃底座上，齒條通過齒輪傳動(dòng)，齒輪連接有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述料桶的頂端設(shè)有排料輪，排料輪通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸上連接有主動(dòng)輪和所述齒輪，所述排料輪的傳動(dòng)軸上連接有從動(dòng)輪，所述從動(dòng)輪和所述主動(dòng)輪通過皮帶連接，所述齒輪與所述齒條相匹配傳動(dòng)，所述主動(dòng)輪的直徑大于所述從動(dòng)輪的直徑。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述上推機(jī)構(gòu)包括推板、擋板和推桿，推桿上固定連接推板和擋板，所述推板在所述料桶內(nèi)，料桶的下端設(shè)有殼體，擋板設(shè)置在殼體內(nèi)，推桿與所述料桶的底部滑動(dòng)設(shè)置而，在擋板下端的推桿上設(shè)有上推彈簧，所述上推彈簧的下端固定在所述殼體底端。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述推板和所述擋板之間推桿的長(zhǎng)度值等于所述料桶的深度值，所述料桶的頂部靠近所述花籃的一側(cè)設(shè)有開口。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述排料輪的外周上設(shè)有橡膠圈。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述花籃底座的左右兩端均通過直線軸承與所述導(dǎo)桿滑動(dòng)設(shè)置，所述導(dǎo)桿的下端固定設(shè)置在固定箱體上，所述固定箱體與所述工作臺(tái)之間的導(dǎo)桿外部設(shè)有彈簧。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述花籃上設(shè)有與所述花籃底座上設(shè)置相對(duì)應(yīng)的卡接裝置。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述齒條貫穿所述固定箱體的外壁和所述工作臺(tái)，齒條的背部設(shè)有固定件，所述齒條與所述固定件滑動(dòng)設(shè)置，所述固定件的上下兩端分別與工作臺(tái)和固定箱體固定連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述排料輪和所述從動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)軸設(shè)在上端支架上，所述上端支架的底端固定在工作臺(tái)上。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述齒輪、所述主動(dòng)輪和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸設(shè)在下端支架上，所述下端支架的頂端固定在工作臺(tái)上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果為：