[實用新型]一種晶圓取粒機取粒裝置

有效

• 申請號: 202120417812.1
• 申請日: 2021-02-25
• 公開（公告）號: CN214203655U
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 李志衛;張仕俊;何浪
• 申請（專利權）人: 蘇州新米特電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：包括工作臺(1)，所述工作臺(1)上設有支撐柱(11)，所述支撐柱(11)上設有安裝塊(2)，所述安裝塊(2)上轉動連接有取粒爪(3)，所述取粒爪(3)上設有取粒組件，安裝塊(2)上設有電機(21)，所述電機(21)的輸出軸連接于取粒爪(3)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述取粒組件包括設于取粒爪(3)上的取粒塊(4)，所述取粒塊(4)上安裝有吸粒管(43)，所述吸粒管(43)連接有負壓管(42)，工作臺(1)上設有抽風機(15)，負壓管(42)連接于抽風機(15)。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述吸粒管(43)上設有卡接管(44)，所述卡接管(44)上套設有吸粒帽(45)。

4.根據權利要求2所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述取粒塊(4)與取粒爪(3)滑移連接，取粒爪(3)上設有凸塊(34)，所述凸塊(34)上設有緩沖桿(35)，所述緩沖桿(35)上套設有緩沖彈簧(36)，所述緩沖彈簧(36)的一端連接于取粒塊(4)，另一端連接于凸塊(34)。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述取粒爪(3)上設有滑條(31)，取粒塊(4)開有供滑條(31)卡入的滑槽，所述滑條(31)上設有彈珠螺絲(312)。

6.根據權利要求2所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述取粒爪(3)上設有用于固定負壓管(42)的固定環(33)。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述支撐柱(11)上設有滑軌(14)，所述安裝塊(2)套設于滑軌(14)并與滑軌(14)滑移連接，滑軌(14)的端部設有限位板(131)，支撐柱(11)上設有用于驅動安裝塊(2)移動的驅動件。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓取粒機取粒裝置，其特征在于：所述驅動件為設于支撐柱(11)上的氣缸(13)，所述氣缸(13)的輸出軸連接于安裝塊(2)。