[實用新型]MEMS麥克風及其微機電結構

有效

• 申請號: 202120396938.5
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN214281654U
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 榮根蘭;孫愷;孟燕子;胡維
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00;H04R19/04
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 李向英

1.一種微機電結構，其特征在于，包括：

第一背極板；

第二背極板，位于所述第一背極板上；

振動膜，位于所述第一背極板與所述第二背極板之間，所述振動膜與所述第一背極板構成第一可變電容，并與所述第二背極板構成第二可變電容；

第一支撐部，位于所述第一背極板與所述振動膜之間，并分別與所述第一背極板和所述振動膜固定連接；

第二支撐部，位于所述第二背極板與所述振動膜之間，并分別與所述第二背極板和所述振動膜固定連接，

其中，所述第一支撐部沿所述振動膜的邊緣向所述振動膜的中心方向凸出于所述第二支撐部。

2.根據權利要求1所述的微機電結構，其特征在于，還包括：

襯底，所述第一背極板位于所述襯底上；以及

第三支撐部，位于所述襯底與所述第一背極板之間，并分別與所述第一背極板和所述襯底固定連接，

所述第三支撐部沿所述振動膜的邊緣向所述振動膜的中心方向凸出于所述第一支撐部。

3.根據權利要求2所述的微機電結構，其特征在于，所述第一支撐部、所述第二支撐部以及所述第三支撐部均呈環狀結構，且所述第一支撐部、所述第二支撐部以及所述第三支撐部的外環對齊。

4.根據權利要求2所述的微機電結構，其特征在于，所述第一背極板包括：

第一絕緣層，位于所述第三支撐部上，并與所述第三支撐部固定連接；

第一導電層，位于所述第一絕緣層上；以及

第二絕緣層，覆蓋所述第一絕緣層與所述第一導電層，并與所述第一支撐部固定連接，

其中，所述第三支撐部在所述振動膜上的正投影環繞所述第一導電層在所述振動膜上的正投影的外周邊緣。

5.根據權利要求4所述的微機電結構，其特征在于，所述第一絕緣層的厚度大于所述第二絕緣層的厚度。

6.根據權利要求4所述的微機電結構，其特征在于，還包括至少一個第一隔離部，位于所述第二絕緣層面向所述振動膜的表面，

其中，所述第一隔離部的厚度小于所述第一支撐部的厚度。

7.根據權利要求4所述的微機電結構，其特征在于，所述第二背極板包括：

第三絕緣層，位于所述第二支撐部上，并與所述第二支撐部固定連接；以及

第二導電層，位于所述第三絕緣層上，

其中，所述第二導電層在所述振動膜上的正投影與所述第一導電層在所述振動膜上的正投影相互重合。

8.根據權利要求7所述的微機電結構，其特征在于，所述第二背極板還包括第四絕緣層，覆蓋所述第三絕緣層與所述第二導電層，

其中，所述第三絕緣層的厚度大于所述第四絕緣層的厚度。

9.根據權利要求7所述的微機電結構，其特征在于，還包括至少一個第二隔離部，位于所述第三絕緣層面向所述振動膜的表面，

其中，所述第二隔離部的厚度小于所述第二支撐部的厚度。

10.根據權利要求2所述的微機電結構，其特征在于，所述襯底具有背腔，所述第一背極板覆蓋所述背腔并具有至少一個第一通孔，所述第二背極板具有至少一個第二通孔，振動膜具有至少一個泄氣孔，

其中，所述第一通孔、所述第二通孔、所述泄氣孔以及所述背腔連通。