[實(shí)用新型]一種組合舟托結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120383407.2
• 申請(qǐng)日: 2021-02-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214848526U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林佳繼;龐愛(ài)鎖;劉群;張武;林依婷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種組合舟托結(jié)構(gòu),包括舟托梁、端板和舟托梁扣件；端板設(shè)置于舟托梁兩端，舟托梁和端板通過(guò)舟托梁扣件進(jìn)行安裝固定；本實(shí)用新型提供了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、低成本、組裝方便快捷的一種組合舟托結(jié)構(gòu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造及太陽(yáng)能光伏電池制造領(lǐng)域，更具體的說(shuō)，它涉及半導(dǎo)體制造和光伏電池片的載具。

背景技術(shù)

目前的光伏電池片的高溫處理設(shè)備，如擴(kuò)散爐、退火爐、氧化爐、低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD等大多是使用多管設(shè)備，多管設(shè)備共用一個(gè)凈化臺(tái)和上下料設(shè)備。每管設(shè)備有獨(dú)立的氣路，獨(dú)立的槳，獨(dú)立的真空系統(tǒng)，獨(dú)立的加熱模塊等等。擴(kuò)散是制備PN結(jié)構(gòu)的重要工藝過(guò)程。退火設(shè)備主要有激活摻雜元素，改變應(yīng)力，改變晶態(tài)等用途。氧化爐可以制備氧化層。LPCVD是生長(zhǎng)隧穿氧化層，本征非晶硅，摻雜非晶硅，二氧化硅等薄膜的主要設(shè)備。PECVD有鍍氮化硅、碳化硅、氧化硅等功能。

目前隨著光伏產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，硅片尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)能要求越來(lái)越高；增加產(chǎn)能靠增大爐管直徑和長(zhǎng)度來(lái)容納更多的硅片。改變爐管直徑和長(zhǎng)度后，爐管熱場(chǎng)的穩(wěn)定性和均勻性，石英件的強(qiáng)度和形變，槳的強(qiáng)度和形變，工藝氣體的均勻性都將需要各種考驗(yàn)，帶來(lái)各種風(fēng)險(xiǎn)。其中的舟托結(jié)構(gòu)，是工藝小舟的承載機(jī)構(gòu)，常規(guī)的舟托結(jié)構(gòu)為一體式的，并且采用石英材質(zhì)；舟與槳、緩存、把手等硬接觸的部位容易磨損，當(dāng)一些工藝氣體或產(chǎn)物對(duì)石英有侵蝕作用時(shí)，硬接觸的部位更易損壞；當(dāng)舟托結(jié)構(gòu)損壞后，需更換新件才能繼續(xù)進(jìn)行生產(chǎn)，且更換新件的過(guò)程中不但成本較高還浪費(fèi)了大量的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、低成本、組裝方便快捷的一種組合舟托結(jié)構(gòu)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種組合舟托結(jié)構(gòu),包括舟托梁、端板和舟托梁扣件；端板設(shè)置于舟托梁兩端，舟托梁和端板通過(guò)舟托梁扣件進(jìn)行安裝固定。

進(jìn)一步的，所述舟托梁的側(cè)表面兩端都設(shè)置至少一個(gè)將舟托梁貫穿的第一固定孔。

進(jìn)一步的，在舟托梁的上表面設(shè)置用于放置小舟的定位槽。

進(jìn)一步的，還包括連接塊，連接塊的一端與舟托梁靠近端板的表面接觸，連接塊的另一端與另一舟托梁靠近端板的表面接觸。

進(jìn)一步的，在舟托梁上還設(shè)置限定連接塊位置的限位槽和支撐舟托梁的舟托梁支撐位；限位槽與連接塊配合；舟托梁支撐位設(shè)置于舟托梁的下表面，用于與舟槳配合支撐。

進(jìn)一步的，在連接塊的兩端設(shè)置連接塊扣件；連接塊扣件與連接塊結(jié)合，使得連接塊與舟托梁完成裝配；連接塊及連接塊扣件的移動(dòng)受限位槽限制。

進(jìn)一步的，在端板的側(cè)表面設(shè)置端板支撐位；端板的側(cè)表面還設(shè)置至少一個(gè)與舟托梁的第一固定孔配合的第二固定孔，并且第二固定孔位于端板支撐位的上方。

進(jìn)一步的，舟托梁扣件與舟托梁接觸的位置設(shè)置至少一個(gè)與舟托梁的第一固定孔相配合的第三固定孔。

進(jìn)一步的，舟托梁的第一固定孔、舟托梁扣件的第三固定孔與端板的第二固定孔用螺栓連接固定。

進(jìn)一步的，舟托梁呈柱狀；在舟托梁之間相對(duì)的表面兩端都設(shè)置限位塊，限位塊與端板接觸；所述端板呈矩形，在端板遠(yuǎn)離舟托梁的表面設(shè)置把手，在端板與把手接觸的位置設(shè)置第一安裝孔，并在把手對(duì)應(yīng)第一安裝孔的位置設(shè)置第二安裝孔，把手通過(guò)第一安裝孔與第二安裝孔的配合完成與端板的結(jié)合；