[實用新型]一種面型檢測系統

有效

• 申請號: 202120367903.9
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN214173285U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 肖鵬飛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種面型檢測系統，其特征在于，包括光源、成像鏡頭以及圖像傳感器；所述光源提供的光束經過所述成像鏡頭照射在被測樣品的被測面上，所述圖像傳感器檢測所述被測面的散射光以確定所述被測面上各點的散射光的光強最大時對應的波長，并根據各點確定的波長確定該點相對于所述成像鏡頭的距離，以確定所述被測樣品的形貌。

2.如權利要求1所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述光源為照明光源。

3.如權利要求1所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述光源發出的光束為寬光譜連續光。

4.如權利要求1所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述面型檢測系統還包括波長調制組件，所述波長調制組件用于調制所述光源提供的光束，使其變為窄光譜連續光，并且中心波長可調。

5.如權利要求4所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述波長調制組件對所述光源提供的光束進行連續調制。

6.如權利要求4所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述面型檢測系統還包括反射鏡，所述波長調制組件調制后的光束傳輸至所述反射鏡并經所述反射鏡反射后傳輸至所述成像鏡頭。

7.如權利要求6所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述反射鏡的反射率與透射率相等，或者，所述反射鏡的反射率與透射率比值根據光源的強度和圖像傳感器的靈敏度設計。

8.如權利要求1所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述圖像傳感器為二維圖像傳感器。

9.如權利要求1所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述成像鏡頭為色差成像鏡頭。

10.如權利要求1至9中任一項所述的一種面型檢測系統，其特征在于，所述被測樣品的被測面為自由曲面。