[實用新型]一種測量激光器出光特性的設備

有效

• 申請號: 202120362752.8
• 申請日: 2021-02-08
• 公開（公告）號: CN214798169U
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 張玉岐;林科闖
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;G01M11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種測量激光器出光特性的設備，包括測試臺、位移組件、載具、全反射鏡和出光特性測試模塊；位移組件移動設置于測試臺上，載具安裝在位移組件上，用于收集待測激光器激光的出光特性測試模塊位于測試臺的上方，復數個全反射鏡安裝在載具上，載具具有復數個容納待測激光器的槽位，反射待測激光器激光的全反射鏡位于槽位的一側。本實用新型可以實現不同方向出光的激光器，共用一套測試設備，實現兼容。

技術領域

本實用新型涉及激光器測試的技術領域，特指一種測量激光器出光特性的設備。

背景技術

半導體激光器的特性測試主要的參數指標是出光特性的測量，從中可以測試出很多重要的參數比如出光功率、斜效率和閾值電流等。目前半導體激光器按照出光方向相對于本身的結構分類主要有面（垂直）發射半導體激光器和邊（水平）發射半導體激光器，由于兩種半導體激光器的出光方向不一致，所以需要采用不同的測試設備對齊進行分別測試。沒有合適的出光特性測試設備能同時滿足面發射和邊發射半導體激光器的兼容，因此，本發明人對此做進一步研究。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種測量激光器出光特性的設備，實現不同方向出光的激光器，共用一套測試設備，實現兼容。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術解決方案是：

一種測量激光器出光特性的設備，包括測試臺、位移組件、載具、全反射鏡和出光特性測試模塊；位移組件移動設置于測試臺上，載具安裝在位移組件上，用于收集待測激光器激光的出光特性測試模塊位于測試臺的上方，復數個全反射鏡安裝在載具上，載具具有復數個容納待測激光器的槽位，反射待測激光器激光的全反射鏡位于槽位的一側。

進一步，一個全反射鏡對應一個槽位。

進一步，復數個槽位在橫向和縱向上陣列式排布，一個全反射鏡對應一排橫向上的槽位或者對應一排縱向上的槽位。

進一步，還包括第一調節組件，用于調節待激光器角度和/或位置的第一調節組件安裝在槽位中，第一調節組件與待測激光器連接。

進一步，還包括第二調節組件，用于調節全反射鏡角度和/或位置的第二調節組件與全反射鏡連接，第二調節組件安裝在載具上。

進一步，出光特性測試模塊為光探測器或者積分球。

進一步，全反射鏡的反射面與載具水平方向的夾角為45°。

進一步，還包括移動機構，出光特性測試模塊安裝在移動機構上。

由于面發射半導體激光器和邊發射半導體激光器的出光方向不一致，要求出光特性測試模塊和載具的相對位置需要改變，本實用新型通過在載具上加入全反射鏡，將邊發射半導體激光器的出光方向偏轉90°，保持和面發射半導體激光器的出光方向一致，從而無需更改其他設計或者采用額外的測試設備進行測試，可實現同時檢測面發射半導體激光器和邊發射半導體激光器的兼容性。

附圖說明

圖1是本實用新型邊發射半導體激光器測試時的示意圖；

圖2是本實用新型面發射半導體激光器測試時的示意圖；

圖3是本實用新型全反射鏡在載具上位置一的示意圖；

圖4是本實用新型全反射鏡在載具上位置二的示意圖。

標號說明

測試臺1 位移組件2 載具3 槽位31

全反射鏡4 出光特性測試模塊5 待測激光器6。

具體實施方式