[實(shí)用新型]一種掩膜版對位傳送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120333423.0
• 申請日: 2021-02-05
• 公開（公告）號: CN214454929U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐智俊;陸濤;李文;徐兵;杜曉威
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥清溢光電有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G35/00
• 代理公司: 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 夏舜

1.一種掩膜版對位傳送裝置，用于將掩膜版的送料和卸料，一側(cè)設(shè)置有機(jī)械手，另一個(gè)伸入光刻機(jī)組內(nèi)，其特征在于：包括相對設(shè)置的兩個(gè)固定架、固定在兩個(gè)固定架上的兩條伸入光刻機(jī)組的輸送滑軌，所述輸送滑軌上滑動設(shè)置有輸送組件；兩個(gè)所述固定架之間設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)上固定有用于轉(zhuǎn)運(yùn)掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，所述轉(zhuǎn)運(yùn)裝置通過升降機(jī)構(gòu)沿高于或者低于輸送組件方向運(yùn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版對位傳送裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括與升降機(jī)構(gòu)固定的升降盤、沿升降盤周向設(shè)置的四個(gè)電動滑軌，固定在電動滑軌上的支撐桿，以及與支撐桿遠(yuǎn)離電動滑軌端固定的夾持件，位于對位上的夾持件鏡像對稱設(shè)置，四個(gè)所述夾持件同時(shí)對掩膜版夾持。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版對位傳送裝置，其特征在于：所述夾持件包括L形夾板，所述L形夾板的水平部設(shè)置有若干個(gè)滾珠，所述L形夾板豎直部且用于夾持一側(cè)設(shè)置有防滑墊片。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版對位傳送裝置，其特征在于：所述固定架上設(shè)置有限位條板，所述電動滑軌遠(yuǎn)離升降盤側(cè)設(shè)置有卡槽，所述卡槽卡設(shè)在限位條板外部，且與限位條板滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版對位傳送裝置，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)包括穿過升降盤的絲桿和與絲桿底部固定的驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括設(shè)置在與絲桿底部固定的從動輪、與從動輪嚙合的主動輪和與主動輪固定的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)通過控制器控制運(yùn)行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版對位傳送裝置，其特征在于：所述輸送組件包括輸送板，每一個(gè)輸送滑軌上均設(shè)置有一個(gè)輸送板，所述輸送板上設(shè)置有防滑凸起。