[實用新型]一種碳化硅同質外延生長設備

有效

• 申請號: 202120332516.1
• 申請日: 2021-02-05
• 公開（公告）號: CN214254358U
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 毛張文;林科闖;鄭元宇;張富欽
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23C16/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：包括腔體、頂蓋、生長載臺、透明探溫窗口、支架和復數個紅外高溫探測計，頂蓋與腔體扣合形成供外延生長的空間，腔體的底部設有排氣口，腔體的內部設有生長載臺，頂蓋設有進氣口和測試安裝口，至少一紅外高溫探測計安裝在頂蓋的測試安裝口中；透明探溫窗口設于腔體的側壁，支架的一端固定在腔體上，另一端通過萬向節與至少一紅外高溫探測計連接，紅外高溫探測計在透明探溫窗口范圍內轉動。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：還包括觀測臺，觀測臺固定在腔體的側壁上并垂直于側壁，其位于透明探溫窗口的下方，支架固定在觀測臺上。

3.根據權利要求1所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：還包括激光指示燈，激光指示燈安裝在萬向節上。

4.根據權利要求1所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：萬向節由套設的兩個活動環和兩個轉軸組成。

5.根據權利要求1所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：紅外高溫探測計與萬向節以可拆卸的方式連接。

6.根據權利要求1所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：透明探溫窗口面向腔體的內側，設一可拆卸透明罩。

7.根據權利要求6所述的一種碳化硅同質外延生長設備，其特征在于：可拆卸透明罩的面積大于透明探溫窗口的面積，且與透明探溫窗口間隔設置。